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第25卷第4期增刊 仪器仪表学报 2004年8月
0日：目
基于MEMS技术的集成IⅡ艮l旦也传感器研制+
方 震 武 宇 赵 湛 张博军
(中科院电子所传感技术国家重点实验室北京 100080)
摘要 基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点，并可大大提高器件的一致性，
可靠性，易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构，以及具体
测量方法。重点介绍了湿度部分的测量，证实所设计的集成传感器有良好性能。
关键词 MEMS葚旷移温琴传感器
Researchon and Sensor MEMS
IntegratedTemperatureHumidityBasedon
ZhenWuYuZhaoZhan
Fang ZhangBojun
(State Transducer
of of 1
KeyLaboratory Technology，ChineseAcademySciences，Beijing
Abstract and sensorbasedonMEMShasthe ofless
temperaturehumidity
Integrated advantages
size，low advanced of
cost，easyintegrated，andhighly apparatusidentity，reliability，easyproduction．Itanalyzes
the ofthermal methodusedtomeasure structureofthe
feasibility conductivity humidity，thenanalyzes
and sensor，and thedetailed means．It re—
temperturehumidity provides measuring primarilyanalyzesmeasuring
suitadoutthe of verifiestheexcellence ofthe and
part performance humidity
humidity，and integratedtemperture
SensOr．
wordsMEMS and sensor
Key temperaturehumidity
Integrated
的是一种温度和湿度集成传感器，利用热电原理测量
1 引 言 湿度瞳’33和热敏原理测量电阻，是基于MEMS技术设
计和制造的一种单片集成温度和
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