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第27卷第3期 真空科学与技术学报
ANDTECHNOLOGY
2007年5,6月 咖SEJOURNALOFVACUUMSCIENCE
动态离子束混合制备的钛氧化物
薄膜的AES和XPS研究
展长勇杜纪富黄宁康。
(辐射物理和技术教育部重点实验室，四川大学原子核科学技术研究所成都610064)
ElectronicStructuresofTitaniumOxideFilmsGrown
Ion
Beam
byDynalnic Mixing
Zhan Jifuand
Changyong，Du Ningkang。
Huang
Rod／dr／on and
Physics of
Laboratoryof Technologyof脚翩Ministry
／g-y China，＼
、Institute University，c^啦610064，Chinal
ofNuclearL-mⅨandTechnology，Sichuan
Ti
Abstractntmfium∞idefilmswere atroom ionbeam was At+ion
bydynaInic mixing。wheredepositedby sputter-
grown temperature
with
0fTi ironsubstrates co_kd旧rdedAt+and fdI璐werecha／llcterized
iJlg target，Oil contimmualy by O+ion咖．The X-rayphotoelectron
resultsshowthattheboln】姗棚ofAt+and／orO+ionbeams af-
咖opy(XPS)andAugerelectron咖py(AES)．The stI锄gly
leads
fectsthechemicalbondsandtheinteffacialstructures．For resultsinformation O+bombardment
ofTi02，wherea8
instance，At+sputtering
bonds stoichiometfic
todifferentvalenceofTi．Moreover．co-㈨ntofAt+and
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