管理白光干涉仪介绍.pptVIP

测量实例 采集的白光干涉图 找平 开始测量 坐标 截止波长 填充数据 光强 测量实例 仪器维护 放置 润滑 导轨面防划防锈、不失油 光学零件 发展现状 德国 Bruker的Contour GT系列 任何放大倍数下，系统的纵向范围都能够达到亚-埃至毫米级 美国ZYGO公司的 New View 7000系列表面轮廓仪 英国Taylor-Hobson公司三维Talysurf CCI系列 参考文献 1.《光学测试技术》，刘承等编著，电子工业出版社.2013.6 2.《光学测试技术》，沙定国主编，北京理工大学出版社.2010.1 3.《光学干涉检测》，埃里克·P.古德温著，浙江大学出版社.2014. 8 4.《白光干涉仪的可用性研究》，袁丽，华中科技大学硕士论文 5.《垂直扫描白光干涉仪测量关键技术的研究及应用》，徐海涛，华中科技大学硕士论文. 6.《基于空间频域算法的三维微观形貌的测量》南京理大学光学学报 7.《白光扫描干涉三维表面形貌测量技术的研究》，李其德，合肥工业大学硕士论文，2008 8. 《数字化白光扫描干涉仪的研究》, 张以谟等，光学精密工程.2004.12 9. 《白光干涉扫描法测量三维形貌的研究》，姚锦晓，南京理工大学硕士论文. 10. 《利用白光扫描干涉测量表面微观形貌》，刘晨等，光电工程.2011 ，38（1）：71-75. 11. 《机械零件三维表面形貌测量与评定