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(6) 真空镀（又叫物理气相沉积(PVD) 真空蒸镀，用电加热使镀层金属挥发，蒸汽以原子或分子形式沉积于被镀工件上，形成很薄的(50 ~100nm)覆膜。 阴极溅射利用高能离子或中性原子来轰击金属，使金属原子飞出，沉积在基体材料表面形成保护膜； 离子镀是在高真空中使蒸发出来的镀层原子离子化，在电场作用下沉积于工件表面形成保护膜。 基板 1? 5kV 基板 1? 5kV 基板加热器 基板 [真空蒸镀] 真空度5?10- 4托 [离子镀] 真空度1?5?10- 4托 [阴极溅射] 真空度10- 3?10- 2托 三种真空镀原理图 (7) 金属衬里 在碳钢或低合金钢设备内部衬上耐蚀金属薄板， 既可满足设备耐蚀性能方面的要求，又可节省 耐蚀金属材料，克服衬层金属强度不足的缺点， 常用的衬里金属有不锈钢、铝、铅、钛。 局部固定法包括焊接(塞孔焊，条焊，熔透焊等)和局部爆炸。整体松衬法是将衬里壳体焊接好，经检验合格后放入外壳内。这种方法的缺陷是外壳和衬里层之间存在间隙，影响承压和传热。在整体衬里后进行热膨胀或爆炸，可以清除壳体与衬里层的间隙。 覆层 基材 对接焊加盖板 搭接焊 衬里层焊接的两种形式 铝板 外壳 橡皮板 炸药 封头爆炸衬铝