传感器原理1-电阻式.ppt

传感器作用 传感器在非电量电测系统中的作用： 金属电阻应变片分为丝式、箔式两种。 金属丝电阻应变片的典型结构见下图。 1—粘合层 2 —基底 3—粘合层 4—盖片 5—敏感栅 6—引出线 电阻应变式传感器 金属箔式应变片的敏感栅，则是用栅状金属箔片代替栅状金属丝。金属箔栅采用光刻技术制造，适合于大批量生产。由于金属箔式应变片具有线条均匀、尺寸准确、阻值一致性好、传递试件应变性能好等优点，因此，目前使用的多为金属箔式应变片，其结构见图。 电阻应变式传感器 应变计 金属应变计 电阻应变式传感器 (2)半导体应变片 半导体应变片工作原理是基于半导体材料的压阻效应，即单晶半导体材料在沿某一轴向受到外力作用时，其电阻率r发生变化的现象。 半导体应变片最简单的典型结构如右图所示，使用方法与金属应变片相同，粘贴在被测物体上，随被测试件的应变其电阻值发生相应变化 。 半导体应变片 半导体在压力、温度及光辐射作用下，能使其电阻率r 发生很大变化←单晶半导体在外力作用下，原子点阵排列规律发生变化，导致载流子迁移率及载流子浓度的变化，从而引起电阻率的变化。 实际上，任何材料都不同程度地呈现压阻效应，但半导体材料的这种效应特别强。电阻应变效应的分析公式也适用于半导体电阻材料，故仍可用上式来表达。对于金属材料来说， dr /r 比较小，但对于半导体材料，dr /r (