传感器原理与应用_2.ppt

第5章 电容式传感器 图5-5 电容式角位移传感器原理图 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 图5-8 差动平板式电容传感器结构 5.3 电容式传感器的测量电路 5.4 电容式传感器的应用 若传感器输入不为 0, 则C1 ≠ C2, 那么I1≠I2, 此时RL上必定有信号输出, 其输出在一个周期内的平均值为 式中f为电源频率。 当RL已知, 式（5 - 32）中［R（R+2RL）/（R+RL）2］RL = M（常数）, 则  Uo=Ei fM(C1-C2) 从式（5 - 33）可知, 输出电压Uo不仅与电源电压的幅值和频率有关, 而且与T型网络中的电容C1和C2的差值有关。 当电源电压确定后, 输出电压Uo是电容C1和C2的函数。该电路输出电压较高, 当电源频率为 1.3MHz, 电源电压Ei= 46 V时, 电容从-7～+7pF变化, 可以在 1MΩ负载上得到-5～+5 V的直流输出电压。电路的灵敏度与电源幅值和频率有关, 故输入电源要求稳定。当Ui幅值较高, 使二极管VD1、VD2工作在线性区域时, 测量的非线性误差很小。电路的输出阻抗与电容C1、C2无关, 而仅与R1、R2及RL有关, 其值为1～100kΩ。 输出信号的上升沿时间取决于负载电阻。对于1kΩ的负载电阻上升时间为