传感器原理及工程应用 第5章w.pptVIP

第5章 电容式传感器 传感器原理及工程应用 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为 第5章 电容式传感器 电容式传感器分为变极距、变面积和变介质三种类型。 传感器的εr和S为常数,初始极距为d0时, C0为 5.1.1 变极距型电容传感器 图为变极距型电容式传感器的原理图。 d er 若极板间距离由初始值d0缩小Δd,电容量增大ΔC,则有 在d0小时,同样的Δd变化引起的ΔC大,传感器灵敏度高。 采用高介电常数的材料时 dg e0 eg d0 云母片相对介电常数是空气7倍,击穿电压为空气的333倍。且(dg/ε0εg)恒定, 使传感器输出特性的线性度改善 变极距电容式传感器起始电容在 20～100pF, 极距在25～200μm, 最大位移应小于间距的1/10,用于微位移测量。 传感器输出特性C=f(d)不是线性关系,而是双曲线关系。 变极距电容传感器只在Δd/d0很小时,才有近似线性输出 x b a Dx d S 变面积型电容传感器原理结构示意图。 5.1.2 变面积型电容式传感器 传感器其电容量C与水平位移Δx是线性关系 q 电容式角位移传感器原理图. 传感器的电容量C与θ呈线性关系。 当θ=0时:C0=ε0εrpS0/d =ε0εrpr/d 灵敏度为 左图是一种测量液