中南大学-透射电镜课件-2.ppt

电子显微分析 基本内容 1 电镜的结构与成象 2 电镜中的电子衍射及分析 1）斑点花样（原理、实验方法、指数标定及应用） 2）菊池线花样 （原理、应用） 3）会聚书束花样 （原理、实验方法） 3 电镜显微图象解释 1）复形象 2）衍衬象 3）高分辨电子显微像（相位衬度像） 4 扫描电子显微术 5 电子探针、俄歇能谱分析、XPS等 金相显微镜的成像 目镜的成象 显微镜的成象 透镜的象差 物镜和目镜 数值孔径（N·A）：反应物镜的集光能力，显微镜对试样上细微部分的鉴别能力主要取决于孔径角（ψ）的大小，大则反映到物镜的光线多，鉴别能力高，呈象鲜明。 N·A=n·sinψ n-介质折射率 增大孔径角的方法 显微镜的平面分辨率 显微镜的垂直鉴别能力 又称景深 在平面获得清晰造像时，在聚焦平面前 后之间高低不平的物体较清晰成象时的 距离。 h=n/（7NAM）+λ/2（NA）2 金相显微镜光源的要求 1、光的强度要大 2、光的亮度要均匀稳定 3、光源的发热程度不宜过高，在光源周围要有吸热、散热装置 4、光源位置和光的强度应调节 光源种类 白炽灯、疝灯、单色灯、卤素灯等 偏光显微技术 偏光在金相中的应用 多相合金的相和金属中夹杂物的分析 塑性变形、择优取向及晶粒取向分析等 相衬显微技术 应用事例 微分干涉技术 高温金相 第一章 电镜的结构与成象 1.1 光学显微镜的局限性 1）一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 2）最小分辨距离计算公式 其中 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示 3) 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 4）对于光学显微镜，N.A(nsinα)的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 5）提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 1.3 电子透镜 1）电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 2）磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 目前，应用较多的是磁透镜，我们只是分析磁透镜是如何工作的。 场发射电子枪 场发射电子枪没有栅极，由阴极和两个阳极构成。第一个阳极主要使电子发射，第二个阳极使电子加速和会聚。其电子枪结构如下图所示。 场发射电子枪可以分成三种：冷场发射（Cold Field Emission, FE）,热场发射Thermal Field Emission, FT），和萧特基发射 (Schottky emission ,SE)。场发射电子枪所选用的阴极材料必 须是高强度材料，以能承受高电场所加之于阴极尖端的高机械应 力，钨由于具有高的强度而成为较佳的阴极材料。场发射对真空 的要求较高，所以一般来说其价格较昂贵。 冷场发射的优点是电子束直径小，亮度高，能量散布小，但为了 避免针尖被外来气体吸附，必须在10-10(Torr)的真空下操作， 而且需要定时将针尖加热至2500K，以去除吸附气体原子，它的 另一缺点是发射的总电流较小。 热场发射电子枪在1800K下工作，不需要定时去除吸附气 体原子。其电流稳定性较佳，所要求的真空度为10-9 (Torr),要低于冷场发射，但其能量散布比冷场发射要大 3~5倍。 萧特基发射电子枪的工作温度也是1800K，它是在钨（100） 单晶上镀ZrO层，从而将纯钨的功函数从4.5eV除至 2.8eV，从而使得电子能够很容易以热能的方式逃出针尖 表面，所需真空度与热场发射接近。其发射的电流稳定性 好，发射的电流也大，而且其能量散布很小，只稍逊于冷 场发射。其电子束斑直径也要大于冷场发射。 不同电子枪的比较 有极靴 B（z） 没有极靴 无铁壳 z 图1-4 磁感应强度分布图 1.4 电子透镜的缺陷和理论分辨距离 电子透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨 距离，对电镜分辨本领起作用的是球差、象散和色