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压电陶瓷的生产工艺技术与应用 摘要：压电陶瓷的发现已经有四十年多年的历史，国内外的研究者在其生产工艺技术的探索上已经做了不少研究。研究者针对压电陶瓷传统工艺流程中的某些环节进行改进，研究出压电陶瓷的一些特殊生产工艺技术，使其在一些特定范围内更好地发挥作用。因此，本文将从压电陶瓷的一般工艺展开，引出到目前为止，压电陶瓷的一些其他生产工艺技术，并系统地介绍了压电陶瓷在生产生活中的应用。 关键词：压电陶瓷；生产工艺技术；改进；应用 Production technology and applications of piezoelectric ceramics Abstract: The discovery of piezoelectric ceramics have been over forty years in history, the researchers at home and abroad have done a lot of research to explore the production technology of piezoelectric ceramics. The researchers have improved some links of the piezoelectric ceramics traditional process and come up with some special production technology of piezoelectric ceramics, which have made piezoelectric ceramics wok better in some particular range. Therefore, this paper will launch the piezoelectric ceramics production technology from general process to, so far, some of the other piezoelectric ceramics production technology, and introduce the applications of piezoelectric ceramics systematically. Key Words: piezoelectric ceramics；production technology；improve；applications 1. 前 言 1. 压电陶瓷的1880年，居里兄弟首先在单晶发现压电效应，这是压电学建立和发展的起点。在1940年以前，压电材料只有两类水溶性铁电体：一类是罗息盐与某些密切有关的酒石酸盐，一类是磷酸二氢钾盐和它的同晶型物。二十世纪四十年代，陶瓷的压电性首先在钛酸钡上被发现，压电材料及其应用取得了质的飞跃。对BaTiO3人们无论在理论上还是在技术应用上都进行了充分的研究，到目前为止，BaTi3的理论已经成熟，为压电陶瓷材料的进一步研究打下良好的基础。1954年，Jaffe B．在研究氧八面体结构特征和离子置换改性的基础上，发明了迄今使用最广泛的锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷，使压电材料的应用展开了新的一页。PZT陶瓷具有非常强和非常稳定的压电效应，具有比BaTiO3更优异的性能：居里点较后者高，且存在着与温度无关的变晶相界，在相界附近(Zr／Ti=54／46)，PZT具有的机电祸合系数和机械品质因素都比BaTiO3大，温度稳定性和时间稳定性都要好，特别是在55—200℃之间无晶相转变。所以，具有不同添加物的PZT就变成为占优势的压电陶瓷。在电子和微电子领域获得了广泛应用。 20世纪60年代初期，Smolensky等人研究了数十种钙钛矿结构铅化合物，提出对钙钛矿结构中的A位和B位离子可以用不同原子价的元素组合进行取代，即复合钙钛矿的A位和B位可以由两种或两种以上的不同化合价的元素组合而成，其平均化合价，A位为+2价，B位为+4价(Smolensky规则)。根据Smolensky规则，可以得到众多的B位复合钙钛矿型氧化物，从而获得不同特性的三元系陶瓷。1965年，Ouchi H．在PZT中掺入含铅的B位复合钙钛矿型氧化物铌镁酸铅(Pb(Mg1/3Nb2/3）O3)，成功地研制出三元系压电陶瓷材料PCM；1969年我国压电与声光技术研究所把Pb(Mg1/3Sb2/3）O3作为第三组分加入到PZT陶瓷中，成功研制出PMS压电陶瓷。电子工业的发展，对压电材料与器件的要求就越来越高，促进了对新型的压电材料的研究，人们不仅广泛地研究了三元系的压电陶瓷材料，而且陆续探索了以PZT为基的四元系陶瓷以及非钙钛矿型的压电陶瓷材料，例如钨青铜型结构、铋系