Service manual SiH4 硅烷 使用手册.docVIP

氣瓶櫃操作手冊 SiH4 §1 入門篇： 1-1 特殊氣體的危害 ＊ 毒性、自燃性、可燃性、窒息性、腐蝕性 1-2 危害警告與注意事項 ＊ 高壓氣體的危害 ＊ 鋼瓶處理時的危害 ＊ 電力的傷害 ＊ 供氣設備處周遭的安全設備 ＊ 各類特殊氣體所使用的防護配備及設備 1-3 設備保養與維修 ＊ 系統、盤面閥件巡檢與維修 §2 系統篇： 2-1 外觀型式 ＊ CABINET 2-2 盤面流程圖 ＊ CABINET 2-3 盤面閥件說明CABINET ＊盤面零組件包括氣動閥、壓力感測器、調壓閥、逆止閥、手動閥隔離閥以及維護安全與潔淨的組件 2-4 控制器簡介 ＊ 硬體簡介 §3 功能篇： 3-1 系統功能介紹 ＊ 換裝鋼瓶 ＊ 維修吹淨 ＊ 手動操作 參數設定 作業紀錄 密碼設定 留言版 回首頁 換瓶程序 静音 ＊ 供氣壓趨勢圖 ＊ 壓力器與磅秤零值補正 §4 操作篇： 4-1 操作程序說明 4-1-1 控制器的操作 4-1-2 換裝鋼瓶程序 4-1-3 維修吹淨程序 4-1-4 手動操作程序 4-1-5 系統參數設定 4-1-6 開始供氣模式 4-1-7 更換鋼瓶 4-2 查閱程序說明 4-2-1 訊息顯示區 4-2-2 警報操作區 4-2-3 訊息留言版 4-2-4 密碼設定與感測器校正 §5 附錄篇： ＊ 緊急關閉程序 ＊ 備註欄 §1 入門篇： 1-1 特殊氣體的危害： ◎ 所