大学毕业论文镀膜真空系统培训教材.ppt

真空系统 　　　　　　镀膜中心 　　　　　　　　　　 　　　　　　　　 真空科学发展史的回顾 真空的基本知识 真空的获得 真空的测量 真空系统 　　　　　　　　 真空科学发展史的回顾 　　　　　　　　 人们通常在回顾真空科学发展史时,常常误认为1643年托里析利的压力实验和1650年葛利克发明抽气机是对真空这 一现象的最早发 现.其实早在公元前六世纪我国在冶铁技术中即采用了 “风箱鼓风法”,这是利用真空进行吸气原理有记载的描述 .公元218—316年我 国晋朝医生葛洪又创造了“拔火罐 ”医疗法.这是真空技术在医学上应用的具体例证 .可见葛利克抽气机的发明与我国的风箱鼓风抽气相比较,在时间上至少要晚几百年.因此在我们回顾真空科学发展的历程时,是不应该忘记我们的祖先,对人类在早期发展真空技术中所做出的贡献. 但是,真空科学与技术作为独立的学科体系还是从20世纪初开始的.这时由于电子器件 ,原子能 ,航天技术对真空环境的要求,极为迫切, 从而大大地推动了这一技术的发展.除了做为获得, 检测 ,真空系统 及其元件等产品的自身发展 ,借以配合许多科学创新的条件和手段 外,由于现在科学技术的相互交叉与渗透,因此又极大的丰富了真空科学与技术的内涵.尤其是” 超高真空 ”超清洁表面”的出现 ,揭示了 自然界中许多新颖的现象和规律 ,其中纳迷技术的发展就是很好的例证 　　　　　　　　 真空科学发展史的回顾 　　　　　　　　 现在薄膜一般都是在真空条件下制备的. “真空” 是镀膜的必要条件.所以,懂得真空的基本知识是必 要的. 　　　　　　　　 一：真空的定义: 　　 　　　　　　　　 二：真空的表示:　　 　　　　　　　　 三：量度单位:　 　　　　　　　　 四：区域划分　 　　　　　　　　 　　10^(-1)帕是一般机械泵能达到的极限真空. 　　10^(-6)帕是扩散泵能达到的极限真空　 　　　　　　　　 五：真空在薄膜制备中的作用 　　　　　　　　 真空科学发展史的回顾 真空的基本知识 　　　　　　　　 　　　　　　　　 真空泵的抽气原理及工作范围 　　　　　　　　 一：机械泵 　　　　　　　　 　　　　　　　　 二：分子泵和罗茨泵 　　　　　　　　 　　　　　　　　 　　　　　　　　 三：扩散泵 　　　　　　　　 　　　　　　　　 　　　　　　　　 　　　　　　　　 真空科学发展史的回顾 真空的基本知识 真空的获得 　　　　　　　　 　真空技术应用的压力范围可达到10^(-12). 因此 ,没有一 种真空计能够测量整个领域.真空计按不同的原理和结构可 分为许多种类. 下表就薄膜技术中常用的几种真空计做一介绍. 　　　　　　　　 　　　　　　　　 　　　　　　　　 　　　　　　　　 　　　　　　　　 真空科学发展史的回顾 真空的基本知识 真空的获得 真空的测量 　　　　　　　　 下图是真空镀膜机的典型示意图.通常以机械泵做前级 泵.将真空室从大气压抽到10^(-1)帕.再启动扩散泵达到所 需的高真空 　　　　　　　　 　　　　　　　　 为了提高真空系统的抽气速率和极限真空. 系统中的真空泵 , 真空室以及连接管道和阀门 的选配是很重要的. 　　　　　　　　 对于真空室内使用的材料也有要求. 第一: 真空室内要选用放气量小的材料. 第二: 材料在放入真空室前要经过适当的处理， 第三: 在真空室内烘烤。 真空系统. 实用真空系统. * * 真空科学发展史的回顾 真空的基本知识 真空的基本知识 　　　真空是指压力低于一个大气压的任何气体状态 . 我 们都知道,物质是由分子组成的,气体也不例外.是有气体 分子组成的.在一个标准大气压的状态下,任何气体分子 的密度约为3*10^10个/厘米^3. 当镀膜机真空抽到 1.33*10^-4帕时.1立方厘米的体 积内也含有300亿个气体分子 . 可见,通常所说的真空是 一种相对真空. 　 一般使用真空度来表示真空的. 真空度又是用压强的大小来表示的. 压强是气体分子热运动的宏观表现. 　　 量度真空是以压强为单位来量度的,压强高表示真空度低,压强低表示真空度高.