压电瓦斯传感器项目汇报.ppt

压电瓦斯传感器的研究 中国矿业大学瓦斯安全监测技术研究所 项目负责人：童敏明 汇 报 人：安乐建 国家自然基金项 一、项目简介 针对目前矿井瓦斯传感器功耗大、响应慢、寿命短等问题，本项目致力于研究一种基于压电原理的瓦斯传感器，在此基础上，研究采场无线瓦斯传感器网络，为掌握工作面瓦斯扩散的动态变化，发现高浓度瓦斯局部集聚的位置提供新的手段，以满足全方位监测矿井瓦斯的需要。 二、 主要研究进展 1）完成压电敏感薄膜的制备； 2）完成了压电传感器的制备； 3）完成压电瓦斯传感器的性能测试和分析； 发表论文2篇，培养研究生2名。 三、 研究成果 1. 传感器结构设计 PGS（压电瓦斯传感器）的设计如图。驱动压控单元是压电薄膜（1），它被夹在顶端电极（2）和底部电极（3）之间。顶端电极和底部电极均为银膜。衬底（4）为硅材料。我们使用8×8×1.2毫米硅衬底。敏感膜（5）是研究的重点内容。 压电瓦斯传感器工作原理： 在PGS的电极表面修饰对待测组分有较强吸附富集作用的功能层, 当待测组分与功能层接触时, 即发生吸附 ,引起PGS表面质量负载的增加, 从而使PGS的振荡频率下降，频移量与表面吸附质量间存在着一定的关系，从PGS的频率变化便知 PGS表面的质量负载的变化 ,从而可推知待测瓦斯气体的浓度。 2. 压电薄膜的制备 以六水合硝酸锌为主要原料，经水热过程合成了由纳米片组装的碱式碳酸锌微球前驱体，经煅烧后得到形貌一致的氧化锌（ZnO）纳米片组装的杨桃状微球，取氧化锌粉末在无水乙醇中超声振荡48h, ZnO和乙醇的比例为1mg/10ml，形成悬浊液。利用定量移液器将上述悬浊液滴到硅衬底上，当无水乙醇完全挥发后形成一层薄膜。由于该薄膜具有水溶性，因此我们用玻璃保护鞘对其防护。 压电薄膜制备工艺流程 3. 瓦斯敏感薄膜的制备 以Mg（NO3）2及沥青基炭纤维为原料，通过热分解方法在沥青基活性炭纤维上分散纳米级MgO颗粒,平均粒径50nm，分散性较好。 该纤维外表面积大、微孔丰富且分布窄、易于与吸附质接触、扩散阻力小，所以其吸脱附速度快，有利于吸附分离，因此也有利于提高传感器的响应速度。 SEM形貌图 X射线衍射谱图 4. 电极的制备 制作的样品 Ag电极 Ag电极 5. 压电瓦斯传感器的性能测试 （1）测试电路 将制备的传感器通 过频率调制器和单片机 采用处理显示电路组成 测试电路，如图所示。 频率调制器能够自动调 制压电激发信号频率， 使其处于谐振状态，当 敏感膜接触甲烷气体时，压电传感器 的谐振频率会降低，通过单片机采集 信号进行处理，可以将谐振频率的变 化转换成对应的甲烷浓度值。 5. 压电瓦斯传感器的性能测试 （2）输出特性 测量组数 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 被测气体 %CH4 0.22 0.50 0.72 1.00 1.20 1.50 1.73 2.00 2.35 2.50 测试结果 %CH4 0.21 0.52 0.75 0.98 1.18 1.54 1.78 1.94 2.32 2.57 相对误差 /% 4.54 4.00 4.17 2.00 1.67 2.67 2.89 3.00 1.28 2.80 测试结论： 压电瓦斯传感器的输出基本呈线性，测试相对误差在5%之内，测量精度较高。 5. 压电瓦斯传感器的性能测试 （3）动态响应特性 对传感器通入2％的甲烷气体，记录输出显示至稳定值90％所用的时间，即为传感器的动态响应时间。 实验结果：响应时间=3s，优于目前的常用瓦斯传感器指标（催化传感器15s，红外传感器10s） 5. 压电瓦斯传感器的性能测试 （4）零点稳定性实验 实验方法：在实验室环境中连续通电工作。 实验结果：2个月零点变化小于0.05%，满足瓦斯监测的要求。 5. 压电瓦斯传感器的性能测试 （5）环境温度的影响实验 实验方法：室内环境调整零点后，通电放在恒温试验箱内，在0~40°范围内调整0 °、10 °、20 °、30 °和40 °，每种环境温度保持工作半小时，记录零点变化。 实验结果：传感器零点几乎不受环境温度的影响。 5. 压电瓦斯传感器的性能测试 （6）环境湿度的影响实验 实验方法：室内环境调整零点后，通电放在恒温恒湿试验箱内，在0~95%范围内调整，每种湿度环境保持工作半小时，记录零点变化。 实验结果：传感器输出环境湿度影响严重，需要研