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扫描电镜显微分析简介 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜 扫描电镜显微分析简介 概况 扫描电镜的优点 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜的工作原理 扫描电镜的构造 扫描电镜的主要性能 应用举例 概况 扫描电子显微镜简称扫描电镜，英文缩写：SEM。为适应不同要求，在扫描电镜上安装上多种专用附件，实现一机多用，使扫描电镜成为同时具有透射电子显微镜（TEM）、电子探针X射线显微分析仪（EPMA）、电子衍射仪（ED）等多种功能的一种直观、快速、综合的表面分析仪器。 扫描电镜的优点 高的分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射电子枪的应用得到普及，现代先进的扫描电镜的分辨率已经达到1纳米左右。 有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调。 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。 试样制备简单。 可直接观察大块试样。 适用于固体材料样品表面和界面分析。 适合于观察比较粗糙的表面：材料断口和显微组织三维形态。 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。具有一定能量的电子，当其入射固体样品时，将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程，激发固体样品产生多种物理信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等。 SEM中的三种主要信号 背散射电子