磁流变减振器集成式压阻加速度传感器设计与试验-农业机械学报.pdfVIP

20 17 年8 月 农 业 机 械 学 报 第48 卷 第 8 期 doi:10.6041/ j.issn.1000鄄1298.2017.08.047 磁流变减振器集成式压阻加速度传感器设计与试验 董小闵摇 于建强摇 毛摇 飞摇 陈平根 (重庆大学机械传动国家重点实验室,重庆400030) 摘要:为满足汽车半主动悬架磁流变减振器运行过程中健康状态监测的需求,提高传感系统的可靠性,设计了一种 可以测量动态加速度的磁流变减振器外置集成式压阻加速度传感器。 根据减振器的工作特性和压阻加速度传感 器的特点,提出了减振器集成加速度传感器的概念,确定了集成方式。 分析了集成式压阻传感器的设计原则并对 芯片进行了结构选型。 为保证传感器具有较大的灵敏度以及较好的动态特性,以测试量程为约束条件,采用理论 模型推导与有限元仿真结合的方法,确定了芯片的主要尺寸参数,进一步通过理论分析完成了芯片的版图设计。 参照设计的加速度传感器参数,进行了订制,在正弦和随机激励下对采用集成加速度传感器的磁流变减振器的单 自由度悬架进行了测试与分析,结果证明所设计的加速度传感器具有较好的精度及动态稳定性,能够满足使用 要求。 关键词:压阻加速度传感器;磁流变减振器;集成;设计;试验 中图分类号:U463郾33 文献标识码:A 文章编号:1000鄄1298(2017)08鄄0391鄄08 Design and Test of Magneto鄄rheological Damper Piezo鄄resistive Acceleration Sensor DONG Xiaomin摇 YUJianqiang摇 MAO Fei摇 CHEN Pinggen (State Key Laboratory of Mechanical Transmission,Chongqing University,Chongqing 400030,China) Abstract:To satisfy the health monitoring requirements of the on鄄state magneto鄄rheological (MR) semi鄄 active suspension shock absorber and improve the reliability of the damping system, a piezo鄄resistive acceleration sensor integrated with MR absorber was designed to measure the dynamic acceleration. According to the characteristic of shock absorber and the piezo鄄resistive acceleration sensor,the concept of integrated acceleration sensor was proposed. Then the design principle of the integrated piezo鄄resistive sensor wasanalyzed. Structureselectionofthechipwasdeterminedonthebasisoftheprinciple. Inorder to ensure the high sensitivity and good dynamic characteristics of the sensor, the main dimension parameters of chip were derived by theoretical analysis and finite element method while the testing range was set as one of the constraints. The layout of the c