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光栅位移传感器 光栅位移传感器的结构及工作原理 如图7-9所示，由主光栅、指示光栅、光源和光电器件等组成。 主光栅固定在被测物体上，它随被测物体的直线位移而产生移动，其长度取决于测量范围，指示光栅相对于光电元件固定。当主光栅产生位移时，莫尔条纹便随着产生位移。 用光电器件记录莫尔条纹通过某点的数目，便可知主光栅移动的距离，也就测得了被测物体的位移量。 莫尔条纹 由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅，如图7-7所示。 用玻璃制成的光栅称为透射光栅，它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕，每条刻痕处是不透光的，而两刻痕之间是透光的。光栅的刻痕密度一般为每厘米10、25、50、100线。刻痕之间的距离为栅距W。 如果把两块栅距W相等的光栅面平行安装，且让它们的刻痕之间有较小的夹角θ时，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条纹，这种条纹称莫尔条纹。如图7-8所示。 莫尔条纹是光栅非重合部分光线透过而形成的亮带，它由一系列四棱形图案组成，如图7-8中d－d线区所示。 图7-8中f－f线区则是由于光栅的遮光效应形成的。 长光栅莫尔条纹 圆弧莫尔条纹 光闸莫尔条纹 环形莫尔条纹 辐射形莫尔条纹 长光栅莫尔条纹 长光栅光闸莫尔条纹 (1) 莫尔条纹的移动方向：当指示光栅不动，主光栅左右平移时，莫尔条纹将沿着指示栅线