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第4章 电容式传感器 4.1 电容式传感器工作原理及分类 4.2 测量电路 4.3电容式传感器的应用 1F=106μF=109 nF=1012 pF 电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种传感器，它具有结构简单、分辨率高、抗过载能力大、动态特性好；且能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。 电容式传感器可用于测量压力、位移、振动、液位、厚度。 4.1 电容式传感器工作原理 C=ε.S/d=ε0. εr.S/d ε=ε0. εr C为电容 ε0=8.85×10-12F/m εr为相对介电常数 用S为极板相对覆盖面积m2 d为极板间距 电容式传感器分为变面积式、变间隙式、变介电常数式三大类，其中变面积式可分为直线位移式、角位移式；变介电常数式可分为平面介电常数式、圆筒介电常数式。 4.1 电容式传感器工作原理 4.1.1 变面积式电容传感器 变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为动极板。 1．直线位移式 电容的相对变化量和灵敏度为 为提高测量精度，也常用如图4.3所示的结构形式，以减少动极板与定极板之间