电化学抛光技术及其在金属合金表面抛光中的运用.docVIP

电化学抛光技术及其在金属合金中表面抛光的运用 电化学抛光技术及其在金属合金中表面抛光的运用 摘要：本文通过查阅和总结电化学抛光技术的相关文献，介绍了电化学抛光技术的原理，阐述电化学的复合抛光技术和其在主要金属及其合金上的表面抛光处理的运用，并展望了电化学抛光的展望。 关键词：电化学抛光；复合抛光；金属；表面抛光 Electrochemical polishing technology and its application in the surface polishing of metal alloys Abstract： Through reading and summarizing electrochemical polishing technology related literatures, this paper introduces the principle of electrochemical polishing technology, expounds the electrochemical combination polishing technology and its application in surface polishing of main metals and their alloys, and also expresses the prospect of electrochemical polishing. Key words：electrochemical polishing technology；combination polishing；metal alloy； surface polishing 引 言 在生产中，我们经常需要对于一些材料进行表面加工，从传统的金属冶炼业的金属抛光到现代的硅芯片的表面封装，这些都离不开电化学技术。而其中的金属表面抛光常用的技术就是电化学抛光。 电化学抛光是指在一定电解液中金属工件的阳极溶解,从而使其表面粗糙度下降、光亮度提高,并产生一定金属光泽的表面光整技术[1]。目前,该技术已在金属精加工、金属样品制备及需要控制表面质量与光洁度的领域获得了极其广泛的应用,显示出机械抛光及其它表面精加工技术无法媲美的一些优点,如效率高、表面无加工硬化层、无内应力作用、耐腐蚀等。电化学抛光涉及的材料有不锈钢、纯金属、碳钢、合金钢、有色金属及其合金、贵重金属等几乎所有的金属材料。 韦瑶等[1]对电化学抛光的原理、特点作了评述，而朱虎生[], 梁成浩等[]，郝云[]，刘霞[]等分别对铝合金，金及其合金，不锈钢金属，银等金属及其合金的电化学抛光技术进行了介绍。本文拟简要介绍电化学抛光的原理,在各大主要金属及其合金中的运用详细综述近年来电化学抛光技术的新进展。 1.1 电化学抛光的原理 电化学抛光是金属阳极溶解的独特电解过程,它受众多可变因素的影响。根据阳极金属的性质、电解液组成、浓度及工艺条件的不同,在阳极表面上可能发生下列一种或几种反应[6]: 1)金属氧化成金属离子溶入到电解液中,M = M2+ + 2e ; 2)阳极表面生成钝化膜,M + H2O = MO + 2H+ + 2e ; 3)气态氧的析出, 2H2O =O2 + 4H+ + 4e; 4)电解液中各组分在阳极表面的氧化。电化学抛光后的阳极表面状态主要取决于上述4种反应的强弱程度。然而,由于电化学抛光过程的复杂性,至今提出的各种电化学抛光机制均存在一定的局限性。1. 1. 1　由Jacguet P A提出的粘膜理论[7]认为:当电流通过电解液时,在阳极表面生成一层由阳极溶解产物组成的粘性液膜,它有较高的黏度和较大的电阻,而其厚度在粗糙表面的各个部分是不相等的,在凹陷部位的厚度大于凸起部位的厚度。由于阳极表面的“绝缘”程度不同,因而阳极表面上的电流分布不均匀,凸起部位的电流较凹陷部位的电流大。所以,凸起部位的溶解相对较快,结果便导致粗糙表面被宏观抛光。该理论的局限性在于不能回答电化学抛光过程中是否发生阳极金属的钝化氧化问题,也不能解释电化学抛光过程中所特有的阳极极化问题。 1. 1. 2　[8] 该理论认为,在电化学抛光过程中,阳极极化其表面生成钝化膜,只有致密的钝化膜才能抑制表面的结晶学腐蚀。由于阳极表面上凸起和凹陷部位的钝化程度不同,其中凸起部位的化学活性较大,且开始形成的钝化膜往往不完整呈多孔性,而凹陷部位处于更为稳定的钝化状态。因此,凸起部位钝化膜的溶解破坏程度比凹处的大,其结果是凸起部位被腐蚀。如此反复,直至获得稳定致密的钝化膜层,这使电化学抛光效果可达极值。该理论虽在微观抛光上获得了较完善的解释,但又不能较好地说明电化学抛光的全过程。 1. 2　电化学抛光