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进气压力传感器测量精度影响因素分析 尹瑞多，谢晓斌 浙江省计量科学研究院，浙江杭州310013 摘要：进气压力传感器应用在D型EFI汽油喷射系统中，它是D型汽油喷射系统中的重要检测元件，其测 量精度对与发动机喷油量及点火时机有着重要影响。目前，国内此类产品的测量精度大多在5～10％，这 已不能满足一些高性能汽车的需求。基于各类气体压力传感器的测晕原理及工作状况，可以深入分析影响 传感器测量精度的各种因素，并得出：解决好温度补偿问题对提高进气压力传感器的测景精度有着关键性 的作用。 关键词：真空度：绝对压力；压阻效应；温度补偿 1．前言 目前压力传感器在汽车上应用比较广泛，它的作用是检测对象的压力变化情况并把测量结果转换成电 信号输入给电控单元，以控制执行元件的T作，也可以将检测到的结果经过模／数转换输给显示单元进行显 示。压力传感器种类很多，根据传感器产生的输出信号类型可分为模拟输出型和数字输出犁，目前大部分 汽车进气压力传感器都采用模拟信号输出，只有少数车犁中如福特汽车是数字信号输出。按敏感元件的测 量原理分可分为电阻应变式、压阻式、电感式、电容式等。目前应用较为广泛的是半导体压阻式和电容式 ． 进气歧管压力传感器[11。 压阻式传感器利用半导体的压敏效应制成，它的特点是尺寸小，灵敏度高(是普通电阻应变的50～100 倍)，频率范围宽(几赫兹到十几千赫兹)，适宜大批量生产等。目前美国通用汽车公司、日本丰出汽车 公司、克莱斯勒汽车公司及国产桑塔纳2000GLi犁轿车都采用半导体压阻式压力传感器【2】。 本文主要对压阻式汽车进气压力传感器测量原理及其影响测量精度的各种冈素进行了一定的讨论。 2．进气压力传感器的测量原理 目前汽车进气压力传感器大都采用压阻式和电容式测量原理，而压阻式因其独特的优点较电容式应用 广泛。 (1)压阻式进气压力传感器 压阻式压力传感器是利用半导体材料的压阻效应和集成电路T艺制成的传感器，其各个元件都集成在 一片薄硅片上，没有可动元件，因此有时也称固态传感器。 h)压阻式传感岩封装结构 R[激励(+) 号 (_) ～ Re (b)压阻式f专思器工作原理 如图a所示，半导体压阻式传感器主要由外壳、硅杯和引出线等组成，其核心部分是一块方形的硅膜 片。在膜片上，利用集成电路工艺制作了四个等值电阻，组成一个惠斯通电桥。膜片的承受压力区域如图 (b)所示的虚线圆形部分，其力学模型如下图(c)： ． (C)圆腰弹性元件应力分布曲线图 由图(c)可以得知硅膜片的变形以圆心为中心呈对称分布，并且进一步分析得知，在采用恒压电桥电路 时，传感器输出电压信号与压力呈一定的非线性‘31。 ．一 压阻式压力传感器按测量方式分可分为测量绝对压力、表压力和差动压力。如图a所示，传感器所测 力Pl即为绝对压力；如果P2与大气相通，I≥[JP2为大气压力，则传感器测晕得到的压力为表压力，绝对压力 =表压力+大气压力；如果压阻式压力传感器有两个压力进口，一个进口接Pl，另一个接P2，则此时传感器 测出的压力为差动压力，即差动压力AP=Pl—P2。 现在汽车进气压力传感器大部分为绝对压力传感器，也有部分为表压传感器