多弧离子镀制备TiNAlN纳米多层膜及其超硬效应.pdfVIP

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2017-11-06 发布于湖北
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多弧离子镀制备TiN／AlN纳米多层膜及其超硬效应潘应君。金犁周青春吴新杰 (武汉科技大学材料与冶金学院，武汉430081) 摘要：本研究采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备TiN／AlN纳米多层膜，并对 TiN／～N纳米多层膜的表面形貌、组织结构进行了分析，对TiN／～N纳米多层膜的调制机构进行了表征。通过对薄膜显微硬度的测试发现，纳米多层膜的显微硬度明显高于单层薄膜的显微硬度，可见，TiN／～N纳米多层膜具有明显的超硬效应。关键词：多弧离子镀；TiN／A1N纳米多层膜；超硬 The andUltraMicro-hardnessof TiN／AIN Prepration Nano-multi—layer Multi—arcIon Depositby Plating Pan LiZhou Wu Jin Yingjuno QingchunXinjie 43008 (Wuhan ofScienceand 1) University Technology，Wuhan was on steel Abstract：TheTiN／A1N highspeed by nano-multi—layerprepared multi—arcion inthis surfaceformationandstructurewereana— plating paper．The resultofmicro-hardnessshowthatthemicro-hardnessof lyzed．The testing TiN／ than thin theultra A1N is TiNorA1N film，and nano-multi—layerhighermonolayer micro—hardnessofTiN／A1N isdistinct． nano-muhi—layer ion nano micro-hardness Keywords：multi-arcplating，TiN／A1Nmulti-layers，ultra 1前言目前，工模具表面硬化涂层主要以TiN为主，各种技术制备TiN薄膜的研究有很多，并已进入工业应用。但是TiN的硬度和抗氧化温度不高，在特殊环境的使用过程中容易氧的研究一般集中在这两个方向。多层膜是由两种或两种以上不同的薄膜相互交替生长而形成的多层人造结构，每相邻两层形成一个周期，称为调制周期，其厚度用A表示[1]。在制备多层膜时，由于可以任意改变薄膜的厚度，控制其周期长度，当周期长度比各薄膜单晶的晶格常数大几倍或更长时，可称这种多层膜为“超晶格”薄膜[2]。由于多层膜组成材料及结构上的特点及其各层间具有