AFM加工的Ti纳米氧化钛线的直线度分析33.PDF

光 电 子 ·激 光 第 16 卷 第 12 期 　2005 年 12 月 Vol . 16 No . 12 　Dec . 2005 　　　　　 J our n al o f Op t oelect r onics ·L aser 　　　　　　　 AFM 加工的 Ti 纳米氧化钛线的直线度分析 1 2 1 1 2 匡登峰 , 刘庆纲 , 方志良 , 杨 　勇 , 胡小唐 ( 1. 南开大学现代光学研究所 ,天津 30007 1 ; 2 . 天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室 ,天 津 300072) μ 摘要 :为了与微电子加工工艺相结合 ,基于 Ti 氧化线的纳米电子和光电器件需要加工 m 级长的 Ti 氧 化线 。Ti 氧化线的直线度决定了加工的纳米器件的形状 ,从而影响纳米器件的工作特性 。在偏置电压 μ μ μ μ μ 8 V 、扫描速度 0 . 1 m/ s 的条件下 ,在 7 m ×7 m 的范围内从左到右每隔 1 m 加工了6 条 5 m 长的 Ti 纳米氧化线 ,研究了针尖磨损和压电陶瓷扫描器等因素对加工的 Ti 氧化线的直线度的影响 ,原子力 ( ) 显微镜 A FM 扫描范围的中间位置加工的 Ti 氧化线的高度和宽度的一致性与直线度最好 。 ( ) 关键词 :原子力显微镜 A FM 针尖诱导阳极氧化 ; Ti 氧化线 ; 直线度 中图分类号 : TN 103 　　文献标识码 :A 　　文章编号 :(2005) 1214 1704 Straightness Analysis of Titanium Oxide L ines Fabricated with AFM KU AN G Den gf en g1 , L IU Qinggang2 , FAN G Zhiliang1 , YAN G Yong1 , HU Xiaot ang2 ( 1. In stit ut e of Mo dern Op tics ,Nankai U niver sit y , Tianj in 30007 1 ,China ; 2 . St at e Key L ab of Preci sion Measuring Technolo gy In st rument , Tianj in U niver sit y , Tianj in 300072 ,China) Abstract :In order to int e grat e with micro electronic fabrication p roc e ss , tit anium oxide