多量子阱红外探测器波导结构的理论计算.PDFVIP

第 卷第 期 光 子 学 报 年 月 ! 量 红 测器 导 多 子阱 外探 波 结构的理论计算 朱育清 杨沁清 启 明 了集成光 电 学 国 重点联合实 室, 国 学 导 研究所 北京, 、 子 家 验 中 科 院半 体 二 ! , 一 本文 用 矩阵的方法计算 了 量子 阱红外 测 结构参量对 量子 摘 要 采 传输 探 器 多 , , 阶波 结构模场分 光场限制因子和 有效 收 数的影响 给 出了优 设计的结果 导 布 吸 系 并 化 硅 量子 阱 浏 光波 关键词 锗 多 探 器 导 引言 , 产 在 红 测 究 由于光纤通讯的发展 使人们对工作 范 围内的 量子阱 外探 器的研 , , 一 ‘ 于 于 产生了极大的兴趣 红外探测器的突 出优点是易 与微 电子器件相集成 但 由 材料对 , , 长 长 吸 比 弱 因 区的光吸收 测 的 光 波 的光 收 较 此如何增加有源 成为 红外探 器设计 关键 侧 向藕 测 吸 一 测 吸收层 合的波导型红外探测器是增加 红外探 器光 收的 种有效的办法