大数值孔径衍射透镜的优化设计方法-光子学报.PDFVIP

第27 卷第5 期 光 子 学 报 Vo127 No. 5 1998年 5 月 ACTA PHOTONICA SINICA May 1998 大数值孔径衍射透镜的优化设计方法 安晓强 杜春雷 ( 中国科学院光电技 研究所微细加工光学技 国家重点实验室, 成都 610209) 本文针对大数值孔径衍射透镜工艺制作难的问题, 以菲涅耳衍射透镜 例, 研究了相 位匹配原理并提出了一种优化设计二元大数值孔径衍射透镜的方法.在菲涅耳衍射透镜原理 的基础上, 确定了优化设计多相位台阶衍射透镜的结构参数, 并给出了一个设计实例, 最后对 结果元件的衍射效率进行了分析与讨论. 大数值孔径; 菲涅耳透镜; 位相匹配 0 近年来, 随着二元光学技 和各种微细加工技 的日益发展成熟, 衍射光学得到了迅速发展, 目前 已成为光学的前沿研究领域之一. 以衍射为基本原理的各种光学元件也逐渐地应用于许多领域, 它们在 改善系统性能及轻量化方面发挥了很重要的作用. 由于工艺设备极限分辨率的限制, 设计加工的这些元 件数值孔径都比较小, 而