感应藕合射频等离子体-力学进展.PDF

感应藕合射频等离子体 。 加拿大 大学化工系 提要 评述 了感 应祸合射频等离子体 的基本原理和主要设计特 点 对不 同研究者在 确定放 电区 的电磁场 、 温度 、 速度和浓度 分布时所作 的诊 断测量 给 予 了特别重视 通 过 对数学模拟 的讨论 , 对提 出的不 同模型和所得典型结果给 出了总 的看法 一简要评 述 了感应祸合等离子体技术在材料加工 、 超微粉合成 和光 谱化学元素分析等方面 的 应用 引 言 首次低气压 无 电极放 电试验可 以追溯到 世 纪末 , 而 大气压 感应放 电到 年代才发现 , ‘ 〔 ’在 年第一次报告 了环形放 电一旦在低气压 下建立 起来 当压 力升至 大气压 时也 能够维持 正如我们今 天所 知道 的, 导致感应等离子体下一个主要发展 的是 年 的工 “ 〔 作 , 他 的主要贡献是证 实 了感应 祸合等离子 体放 电可 以在有气流 的开 口管 中 维 持 离开 , , 。 放 电区 部分 电离 的气体形成一个低速 等离子体射流 其平均温度范 围 为 。 一 , 有趣 的是尽 管最近 年发表 了很 多研究工作 但感应耗合等离子体炬 的基本设计 同 。 最 初发表 的相 比几乎没 有变化 然而对 如此关键 的等离子 体发生装置及其主要设计特性和工作 参 数 的了解取得 了相 当大 的进展 〔 ’就这 个 问题 的卓越评述 已经在 年发表 本 文将对感应祸合等离子体