改进的飞秒激光加工微型光波导方法-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １ Ｊａｎ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０１００２７０６ 　 改进的飞秒激光加工微型光波导方法 １ １ ２ ２ ２ 龚小竞 ，褚家如 ，杨建军 ，张铁群 ，朱晓农 （ 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 ； １． ２３００２７ ２．南开大学 现代光学所 光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 ３０００７１） 摘要：分析了垂直式加工中加工区域光强分布不对称的原因，从理论上总结出改进这种不对称的方法。在分析了仅引入 单个透镜就能实现这一改进的可行性后，实验验证了这种改进方法。未改进之前加工出的光波导其端口两个方向直径 之比为 １０∶１，甚至更高；而改进后的比例则非常接近 １∶１。通过对光强不对称的改进，该方法有光路简单，无能量损失 的优势。 关 键 词：飞秒激光；垂直式加工；光波导 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＮ２４９ＴＮ２５２ Ａ 　　 犃狀犻犿 狉狅狏犲犱狑犪 犳狅狉犳犪犫狉犻犮犪狋犻狀 犿犻犮狉狅狑犪狏犲狌犻犱犲犫 犳犲犿狋狅狊犲犮狅狀犱犾犪狊犲狉 狆 狔 犵 犵 狔 １ １ ２ ２ ２ ， ， ， ， ＧＯＮＧＸｉａｏｉｎ ＣＨＵＪｉａｒｕ ＹＡＮＧＪｉａｎｕｎ ＺＨＡＮＧＴｉｅｕｎ ＺＨＵＸｉａｏｎｏｎ ｊｇ ｊ ｑ ｇ （ ， １．犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犪犮犺犻狀犲狉 犪狀犱犘狉犲犮犻狊犻狅狀犐狀狊狋狉狌犿犲狀狋犪狋犻狅狀 狆 犳 狔 ， ， ； 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅 狅 犆犺犻狀犪 犎犲犲犻２３００２７ 犆犺犻狀犪 狔 犳 犵狔 犳 犳 ２．犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犗 狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犐狀