智慧微系统-工业技术研究院.PDF

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2017-11-05 发布于天津
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智慧微系统-工业技术研究院

指導單位：經濟部技術處執行單位：工業技術研究院 2015 工研院南分院科技專案計畫成果說明暨研討會 ~先進雷射技術、智慧微系統~ 智慧微系統日期: 2015/12/23 時間: 14:20~16:00 1. FY104可移轉技術暨FY105先期授權技術介紹微系統中心/陳國彰經理 2.工業4.0、生產力4.0的技術與發展高雄第一科技大學/周至宏教授 3.智慧感測與聯網應用微系統中心/邱以泰特助 4. Q Ａ與綜合交流 FY104可移轉技術暨FY105先期授權介紹微系統中心報告人：陳國彰 2015年12月23日 Copyright 2015 ITRI 工業技術研究院Copyright 2015 ITRI 工業技術研究院 1 微系統中心可移轉技術先期授權技術 FY104可移轉技術 FY105先期授權技術 1. 電容式微型壓力計 1. 虹膜辨識技術（先期） 2. 微型氣體感測器 2. 振動感測模組（先期） 3. 微機電製程技術 3. 微型晶片化光譜掃描檢測技術（先期） 4. 光學元件技術 5. 連續血氧監測腕錶 6. 微流道定點照護檢測平台 7. 3D視覺模組 8. 移動式機器人視覺導引系統 9. 雷射3D輪廓量測系統聯絡窗口：陳國彰聯絡電話：06-3847136 E-mail : kerwin_c@itri.org.tw Copyright 2015 ITRI 工業技術研究院可移轉技術 Copyright 2015 ITRI 工業技術研究院 2 3 電容式微型壓力計 Capacitive MEMS Pressure Sensors 本電容式壓力計技術具有低耗能、微型化與高輸出解析度之特色，以創新之絕對式壓力計結構與MEMS加工方法之專利設計(已獲證)，配合低雜訊電容訊號處理與適應性溫度補償電路，使本產品技術具備智慧化校正與溫度補償之附加功能。關鍵技術規格 Over-pressure Protection 感測範圍: 30~110 kPa Same Structure Design with Selectable 靈敏度: 1.5 mV/10 Pa Vacuum/Pressure Levels for Absolute