有机聚合物光波导制作工艺综述-激光与红外.PDF

第４５卷　 第６期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．６ 　 ２０１５年６月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊｕｎｅ，２０１５ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１５）０６０５９９０６ ·综述与评论 · 有机聚合物光波导制作工艺综述 刘　涛，李志山，蒋　志，杨　敏，王书荣 （云南师范大学 太阳能研究所，教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室， 云南省农村能源重点工程实验室，云南 昆明６５０５００） 摘　要：有机聚合物光波导光互连已成为实现短距离计算通信设计目标的最佳解决方法。短 距离光互连是未来互连方向，综合性能优良的聚合物多模光波导是光互连中的重要组成部分。 有机聚合物光波导的制作工艺对光波导的性能具有重要影响，故此对有机聚合物光波导的制 作工艺进行了综述，并提出了一些未来的研发方向。 关键词：聚合物光波导；光波导制作工艺；光损耗 中图分类号：ＴＮ９２９１　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１５．０６．００１ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓｏｆｏｒｇａｎｉｃｐｏｌｙｍｅｒｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅ ＬＩＵＴａｏ，ＬＩＺｈｉｓｈａｎ，ＪＩＡＮＧＺｈｉ，ＹＡＮＧＭｉｎ，ＷＡＮＧＳｈｕｒｏｎｇ （ＳｏｌａｒＥｎｅｒｇｙＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＡｄｖａｎｃｅＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎｆｏｒＲｅｎｅｗａｂｌｅ ＥｎｅｒｇｙＭａｔｅｒｉａｌｓ，ＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ，ＹｕｎｎａｎＰｒｏｖｉｎｃｅＫｅｙＬａｂｏｆＲｕｒａｌＥｎｅｒｇｙＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， ＹｕｎｎａｎＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｋｕｎｍｉｎｇ６５０５００，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｏｒｇａｎｉｃｐｏｌｙｍｅｒｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｓｂｅｃｏｍｅｔｈｅｂｅｓｔｓｏｌｕｔｉｏｎｔｏｒｅａｌｉｚｅｓｈｏｒｔｄｉｓｔａｎｃｅｃｏｍ ｐｕｔａｔｉｏｎａｎｄｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｄｅｓｉｇｎＳｈｏｒｔｄｉｓｔａｎｃｅｏｐｔｉｃａｌｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎｉｓｔｈｅｄｉｒｅｃｔｉｏｎｏｆｆｕｔｕｒｅｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｓ，ａｎｄ ｅｘｃｅｌｌｅｎｔｃｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｐｏｌｙｍｅｒｍｕｌｔｉｍｏｄｅｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅｉｓａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｃｏｍｐｏｎｅｎｔｉｎｏｐｔｉｃａｌｉｎ ｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎＴｈｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓｏｆｏｒｇａｎｉｃｐｏｌｙｍｅｒｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅｈａｓｉｍｐｏｒｔａｎｔｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎｔｈｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅ，ｔｈｅｒｅｆｏｒｅｔｈｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓｏｆｏｒｇａｎｉｃｐｏｌｙｍｅｒｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅｉｓｓｕｍｍａｒｉｚｅｄ，ａｎｄｐｕｔｓ ｆｏｒｗａｒｄｓｏｍｅｏｗｎｉｄｅａｓ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐｏｌｙｍｅｒｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅ；ｐｏｌｙｍｅｒｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓ；ｏｐｔｉｃａｌｌｏｓｓ １　引　言 缺点，限制了数据传输性能的进一步提升。光波 信息时代下，人们对数据传输性能的要求越 导作为光信号通道，其较之电信通道具有高带宽、 来越高。在长距离有线通信领域，光纤通信技术 抗电磁干扰、