激光致溅射沉积薄膜的结晶行为研-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 即, 一 文章编号 一 激光致溅射沉积 薄膜 的结 晶行 为研 究 刘 波 , 阮 昊, 干 福 熹 中 国科 学院 上 海 光 学精 密机械 研 究所 , 上 海 摘 要 利用 研 究了激光致溅射沉积 薄 膜 的结 晶行为 , 研 究发现 , 与热致 相变不 同的是, 激光致相变 只发生从非 晶态到 晶态结构 的转变 , 从 到 的结构 转变 不再发 生 , 这有 利于提 高相变光盘 的信噪 比 薄膜 的结 晶程 度受初始化功率 和转速 的影 响 关 键 词 激 光致相 变 射线衍射 面 心立方 中图分类号 文献标识码 引言 自从 等人 首次提 出 系统可 以应 用 于相 变光 存 储介质 以来 , 相变 光 存 储材料 和 技术得 到 了迅 速 的发 展 和应 用 , 特别是 随着 多媒体领 域 的快速 发 展 , 高速 高 密 度且 可 以直接 重 写 的光 盘 更 是倍 受 人 们 的关注 相 变光 盘 是通 过 存 储介质 晶态 与非 晶态 间 的相 互转换 来实现 记 录 信号 的写 入 和擦 除 的 , 因此 对 于 高速 记 录 的光 存储材料来 说 , 其 结 晶速 度 的控制无 疑 是 非常重 要 的, 因为 它直接影 响到光盘 的擦 除速 度 合 金 薄膜是 最常用 的相变 光存储 介 质之 一 , 近 年来有关 合金 薄膜结 晶行为 的研 究广 , , 为重视 一 】但是 目前 的研 究多 采用 热致相 变 法 这与光盘 中真实 的相 变过程相 差甚 远 因 为激光致相 变在 非常短 的时 间 内即可完成 小于 几百纳秒 , 而 热致 相变则 需 时很 长 为 了更 真实地反 映相变光盘 中 薄膜 的结 晶行 为 , 本文 利 用 初始 化 仪对 以 为 存 储 介质 的相 变光盘 直接进 行初 始 化 ,