电容式压力传感器采用变电容测量原理.PPTVIP

压电元件 压电元件具有正压电效应（压电效应）和逆压电效应； 主要应用： 压力传感器； 石英晶体振荡器（晶振），广泛用于电子产品； 超声换能器 石英晶振 晶体滤波器 超声换能器 压电式检测元件的等效电路 压电元件的电极表面聚集电荷时，相当于一个以压电材料为电介质的电容器 电荷源和电容并联 电压源和电容串联 a) b) 结构型式 在压电式传感器中，常用两片或多片组合在一起使用。由于压电材料是有极性的，因此接法也有两种，如图所示。 体积小，结构简单紧凑，工作可靠 测量范围宽，可测100MPa以下的压力 测量精度较高，线性度好 频率响应高，可达30kHz，是动态压力检测中常用的传感器 由于压电元件存在电荷泄漏，故不适宜测量缓慢变化的压力和静态压力。 压电式压力传感器特点 金属应变片和金属热电阻在组成测量电路时有何差异？ 为什么压电式压力表不能用于稳态压力的测量？ 压电式传感器测量电路的作用是什么?其核心是解决什么问题? 思考题？ 作业 1（p85,No.2.10）、有一电容测微仪，其传感器的圆形极板半径r=5mm，工作初始间隙δ =0.3mm，问： （1）工作时，如果传感器与工作的间隙变化量Δδ =±1μm时，电容变化量是多少？ （2）如果测量电路的灵敏度S1=100mV/pF，读数仪表的灵敏度S2=5格/mV，在Δδ =±1μm时