采用HRTEM对石墨烯材料单层厚度测量的研究-计量学报.PDFVIP

第３８卷　第２期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３８，№２ ２０１７年　３月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｍａｒｃｈ，２０１７ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１７．０２．０４ 采用 ＨＲＴＥＭ对石墨烯材料单层厚度测量的研究 １，２，３ ２ １，２，３ １，２ １，２ １，２ 王琛英 ，　景蔚萱 ，　蒋庄德 ，　林启敬 ，　韩　枫 ，　李　磊 （１高端制造装备协同创新中心，陕西 西安７１００４９； ２西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室，陕西 西安７１００５４； ３苏州纳米科技协同创新中心，江苏 苏州２１５１２３） 摘要：将石墨烯材料薄膜制成可以通过高分辨透射电子显微镜（ＨＲＴＥＭ）观察的横截面样，在室温２０℃，变 换放大倍数，通过ＨＲＴＥＭ自带的测量软件得到的单次测量值为０４１１ｎｍ，同时可以看到石墨烯材料形貌较清晰， 其剖面结构并不是理想的笔直直线。通过局部剪切图和增大间隙图，提取石墨烯材料单层的边缘数据。通过直方 图法获得其单层厚度的测量值，厚度均值为０３９０ｎｍ，厚度重复性测量不确定度为００４２ｎｍ。在置信水平为９５％ 的条件下，计算得到石墨烯材料的单层厚度为（０３９０±００８６）ｎｍ。相对石墨烯厚度的公称值，石墨烯材料的单层 厚度偏大，分析认为石墨烯材料层与层之间紧密连接度不够，造成单层厚度与石墨烯厚度存在差异。 关键词：计量学；石墨烯材料；单层厚度；纳米级高度；高分辨透射电子显微镜；不确定度 中图分类号：ＴＢ９２１　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１７）０２０１４５０４ ＴｈｅＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆＳｉｎｇｌｅｌａｙｅｒＴｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆＧｒａｐｈｅｎｅＭａｔｅｒｉａｌｓｂｙ ＨｉｇｈＲｅｓｏｌｕｔｉｏｎＴｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙ １，２，３ ２ １，２，３ ＷＡＮＧＣｈｅｎｙｉｎｇ ，　ＪＩＮＧＷｅｉｘｕａｎ，　ＪＩＡＮＧＺｈｕａｎｇｄｅ ， １，２ １，２ １，２ ＬＩＮＱｉｊｉｎｇ ，　ＨＡＮＦｅｎｇ ，　ＬＩＬｅｉ （１ＣｏｌｌａｂｏｒａｔｉｖｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎＣｅｎｔｅｒｏｆＨｉｇｈＥｎｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＥｑｕｉｐｍｅｎｔ，Ｘｉ’ａｎ，Ｓｈａａｎｘｉ７１００４９，Ｃｈｉｎａ； ２ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｆｏｒＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＳｙｓｔｅｍｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｘｉ’ａｎＪｉａｏｔｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｘｉ’ａｎ，Ｓｈａａｎｘｉ７１００５４，Ｃｈｉｎａ； ３ＣｏｌｌａｂｏｒａｔｉｖｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎＣｅｎｔｅｒｏｆＳｕｚｈｏｕＮａｎｏＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｕｚｈｏｕ，Ｊｉａｎｇｓｕ２１５１２３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｃｒｏｓｓｓｅｃｔｉｏｎａｌｓａｍｐｌｅｉｓｍａｄｅｗｉｔｈｔｈｅｆｉｌｍｏｆｇｒａｐｈｅｎｅｍａｔｅｒｉａｌａｎｄｉｓｏｂｓｅｒｖｅｄｂｙｈｉｇｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ（ＨＲＴＥＭ）Ｗｈｅｎｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｉｓ２０℃ ，ｔｈｅｖａｌｕｅｏｆｔｈｅｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆｓｉｎｇｌｅｌａｙｅｒｏｆ ｇｒａｐｈｅｎｅｍａｔｅｒ