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移测显微镜十字叉丝定向器的研制和应用-物理试验杂志
第 卷 第 期 物 理 实 验 .35 No.3
35 3 Vol
年 月 PHY ,
SICSEXPERIMENTATION
Mar. 01
15 3 5
20 2
櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶
移测显微镜十字叉丝定向器的研制和应用
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梁小冲 朱 俊 饶大庆 汪仕元 李春秀 王海燕 樊 婷 谢程锋
( ; , )
四川大学 物理科学与技术学院 材料工程学院 四川成都
a. b. 610064
: ,
摘 要 分析了移测显微镜十字叉丝竖线与测量运动方向的不垂直度对测量精度的影响 设计了 种移测显微镜十
2
,
字叉丝定向器 用移测显微镜十字叉丝定向器精确调节十字叉丝竖线与测量运动方向的不垂直度 可以提高移测显微
.
, , ,
镜的测量精度 利用劈尖干涉原理制成的劈尖式移测显微镜十字叉丝定向器 因其干涉直条纹的粗细和疏密可以调节
,
使得十字叉丝定向调节效果更好 因而更有利于提高移测显微镜的测量精度.
: ; ; ; ; ;
关键词 移测显微镜 十字叉丝 定向器 叉丝竖线 不垂直度 测量精度
中图分类号: ;
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