转台分度误差检测及补偿技术的研究.PDFVIP

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2018-06-06 发布于天津
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转台分度误差检测及补偿技术的研究.PDF

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转台分度误差检测及补偿技术的研究

转台分度误差检测及补偿技术的研究———郭敬滨曹红艳王克新等暋暋转台分度误差检测及补偿技术的研究 1 1 2 1 郭敬滨曹红艳王克新齐永岳暋暋暋 , , 1.天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津 300072 , , 2.温州市计量技术研究院温州 325000 : , 。摘要采用的精密多齿分度台与平面反射镜组合对转台分度误差进行检测针对多齿分度 0.3曞 , 台安装倾斜对检测结果产生影响的问题提出了利用双轴光电自准直仪轴读数补偿调整误差的方 Y 。 , 法根据转台分度误差是由多次谐波叠加的特点采用谐波分析的方法对测量得到的离散数据进行拟 , 。合处理得到用于转台分度误差补偿的连续曲线模型对分度误差为的转台进行实测和误差补 17灡82曞 , 。偿补偿后转台的最大分度误差为2曞 : ; ; ; 关键词分度误差检测调整误差谐波分析误差补偿中图分类号: : / TB922暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2014.07.009 j Stud onVerificationandCom ensationofIndexin ErrorsforTurntable y p g 1 1 2 1 GuoJinbin暋CaoHon an暋Wan Kexin暋QiYon ue g gy g gy 1.StateKe Laborator ofPrecisionMeasurin Technolo y y g gy , , , andInstrumentsTianinUniversit Tianin300072 j y j , , , 2.WenzhouInstituteofMeasurementTechnolo WenzhouZheian 325000