传感器集成电路.PPTVIP

在微小尺寸范围，机械依其特征尺寸可以划分为1-10mm的小型机械，1um-1mm的微型机械以及1nm-1um的纳米机械。所谓微型机械从广义上来讲包含了微小型和纳米机械。 日本起步晚于美国，但是政府、学术界和产业界高度重视，东京大学、东北大学等单位相继开展了微细加工、微流量泵、微型传感器、微型继电器等方面的研究都取得了很快的进展。名古屋大学研制了直径为6mm、具有16个爪的管道机器人。精工Epson公司研制的光诱导微型自行走机器人是一个机电光综合体，外形尺寸小于1cm3，重量仅为1.5g，具有爬坡能力。 　　　德国的夫郎荷费固体工艺研究所的集成传感器被列入联邦研究技术部的第一重大项目，已研制成功振动和加速度传感器、微型麦克风、温度和流量传感器用的各种微型部件。德国在微细加工方面首创的ＬＩＧＡ工艺，即X光射线光刻、微电铸和微塑铸三种工艺的有机结合，可实现高深宽比的微结构制作。例如LIGA工艺制作出的直径80um、厚度140um的微齿轮，可用于微系统的动力传输。 　　　我国的整体形势是面上正逐步铺开，深度也逐步深入，但是总体起步晚，由于技术基础薄弱和资金支持力度小等问题，在研究规模、技术水平上与先进国家相比尚有较大的差距。比如，在一年一度的IEEE-MEMS大会上发表论文的数量与欧美日，甚至韩国相比还有很大的差距。2001年度则只有从香港科技大学有3篇投稿。 06年有一篇文章来自中国大陆。 （学科上） 　　 微系统不仅涉及到微电子学、微机械学、微光学、微动力学、微流体力学、微热力学、材料学、物理学、化学和生物学等广泛的学科领域，而且涉及到材料、设计、制造、控制、能源直到检测、集成、封装等一系列技术环节。微系统技术的发展以上述学科和技术为基础，反过来也将带动相关学科和技术的发展。此外，微系统技术还有望成为研究纳米技术的重要手段和纳米技术产业化的桥梁。 　　　因此，微系统技术曾被列为20世纪末10大关键技术之首，并受到工业发达国家的高度重视。如: 欧洲的尤里卡计划明确提出将微系统技术作为一项重要内容，并在法德两国组织实施；美国国会也把微系统技术研究作为21世纪重点研究的学科之一；日本通产省已于1991年启动一项为期十年的微机械研究计划。在我国，微机械与微细加工技术的研究也得到许多部门的重视，国防科工委已将微型惯性测量组合MIMU等作为微系统研究的重点；国家科委、国家自然科学基金委员会也都将微机械与微细加工技术列为重点发展方向之一。 ６．微系统和小型化 具有以下几个基本特点: (1) 体积小、精度高、重量轻。其体积可小至亚微米以下，尺寸精度可高达纳米级，重量可轻至纳克； (2)?? 性能稳定，可靠性高。由于有些微系统器件的体积小，有些几乎不受热膨胀、噪声和饶曲等因素的影响，具有较高的抗干扰性，可在较差的情况下稳定工作; (3) 能耗低，灵敏性和工作效率高。完成相同的工作，微机械所消耗的能量仅为传统机械的十几分之一或几十分之一，而运作速度却可达其10倍以上; (4) 多功能和智能化。许多微系统集成传感器、驱动器和电子控制电路等为一体，特别是应用智能材料和智能结构后，更利于实现微系统的多功能化和智能化。 (5)) 适于大批量生产，制造成本低廉。微系统能够采用与半导体制造工艺类似的生产方法，像超大规模集成电路芯片一样，一次制成大量完全相同的零部件，制造成本比传统机械加工显著降低。 ? ７． 微系统技术的重要性? （应用上） 随着现代科学技术的不断发展，以形状尺寸微小、操作尺度极小为特征的微系统已经成为人们从微观角度认识和改造客观世界的一种高新技术。微系统在国防、医疗、仪器检测、材料等领域，尤其在活动空间狭小、操作精度要求高、功能要求高度集成的航空航天等领域，具有广泛的应用前景。 * 课程名称： 微系统技术基础 教材：MEMS和微系统----设计与制造 （徐泰然著 机械工业出版社 04年1月第一版） 上课时间: 每周1下午6、7、8学时 教室: 力学二楼四层多媒体教室 实验时间: 待定 实验地点: 力学三楼二层和地下一层 授课教员: 褚家如 教授 文鹤鸣 教授 朱学林博士 办公室地点: 力学3楼 308, 302室 电话: 3607504, 3600214 电子邮件: jrchu@ustc.edu.cn 主要参考书： 1．Fundamentals of Microfabrication, by M. Madou, CRC Press, 1997. 2．Micromachined Transducers Sourcebook, by Gregory T. A. Kovacs