太阳能多晶硅铸锭简介.pptVIP

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  • 2017-11-11 发布于湖北
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太阳能多晶硅铸锭简介

手动操作打开下炉腔升降控制屏,提升下炉腔。下炉腔开始向上移动,逐渐加速至最大速度35cm/min,在触发上不加速限位后,速度降为5cm/min,触发上限为后,下炉腔停止,最大速度禁止超过40cm/min(严禁!!!) 上下炉腔闭合后,锁住下炉腔到上炉腔的4个安全卡子。 在《铸锭炉跟踪单》上做好记录,打扫铸锭炉周围的卫生。 3)程序运行过程 加热---熔化---生长---退火---冷却 加热 加热区,程序第一段是一个默认步骤,不能通过配方改变,该段的作用是对加热元件预热,隔热层从38m降至零位,如果归零出现问题,系统自动弹出报警。 熔化 熔化是将固体硅转化成液体硅,温度最高可达1560度,是温度最高段,应提起特别重视 在第十段,熔化结束,出现报警,弹出熔化是否完成的确认窗口,发出警告。出现第一个报警后,点击“Cancel”,之后由操作者在中心观测孔观测是否融化完成,连续观测3-5分钟,若没有硅料固体出现,点击“Agree”,程序方可继续运行。 生长 此阶段为长晶阶段,观察隔热层丝杠位置确人升降系统是否正常工作。在第六段剩余3小时,会发出报警声,弹出透顶确认窗口,此时操作者应在中心观察孔观察是否透顶,确认透顶后,点击“开始延迟”,延迟时间设定在主参数屏幕上,延迟时间一般是15-60分钟,延迟完成后自动跳至下一段。 退火 隔热层

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