聚焦离子束技术介绍-清华大学微纳电子技术支撑平台.PDFVIP

聚焦离子束技术介绍 清华大学微纳加工平台 原剑 目录 一、概述 二、聚焦离子束功能 三、电子束功能 四、双束系统的应用 五、总结 六、参考文献 一、概述 • 聚焦离子束（Focused Ion Beam, FIB）就是将一束离子聚焦并对样品表面进行扫描。 • 离子束对样品表面的轰击过程中，样品表面的原子会被溅射出来，同时也会产生二次离子 （SI）以及二次电子（SE） 一、概述 • 发展历史 – Levi-Setti，Orloff 和Swanson等人在1975 年研制出了第一台气体场电离离子源聚焦离 子束设备。 – 1978 年Seliger等人研制出了第一台液体金属离子源的聚焦离子束设备。 – 目前，已经发展成电子束和离子束合二为一的双束系统。 • 聚焦离子束对比扫描电镜 – 相同之处：聚焦离子束采用聚焦离子束扫描样品表面；扫描电镜采用聚焦电子束扫