一种用于偏扫电流校正的特征点参数采集装置-强激光与粒子束.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 29 7 Vol.29 No.7 年 月 , 2017 7 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jul. 2017 一种用于偏扫电流校正的特征点参数采集装置* , , 朱进鹏 韦寿祺 刘 胜 ( , ) 桂林电子科技大学 广西 桂林 541004 : , 、 摘 要 电子束快速成型设备偏扫系统工作频率高 磁偏扫装置的铁损 涡流等损耗导致偏扫轨迹产生 。 , 偏差 通过获取偏扫区域内特征点基准偏扫参数并由插补算法计算区域内任意一点偏扫参数 能够较好地抑 ; 。 制动态偏差 但由光学观察系统判断电子束斑点位置所获得的基准偏扫参数精确性较低 为提高偏扫轨迹精 , , , 度 在现有电子束快速成型机上加装一种特征点参数采集装置 收集产生的二次反射电子 通过二次反射电子 。 : 信号判断特征点通孔中心与电子束斑点中心的对中性 实验表明 当电子束斑点位于特征点中心且聚焦于上 , , , 。 表面时 二次反射电子信号最小 此时获得的基准偏扫参数精确性高 能够提高电子束偏扫加工的精度 : ; ; ; ; 关键词 偏扫电流 校正 特征点 参数采集 二次反射电子 中图分类号: 文献标志码: : / TG439.3 A doi10.11884HPLPB201729.160483 [] 1 电子束快速成形技术是电子束技术与快速成形技术相结合的一种快速加工技术 。电子束快速成形技术 、 , 、 、 利用高能电子束熔融 沉积金属粉末最终获得三维实体零件 其具有能量密度高 可加工材料广泛 加工环境纯 [] , “ ” 2 。 净和成形速度快等优点 在金属零件 增材制造 领域已有实际应用 电子束快速成型设备制造三维实体零