石英压力器.PDFVIP

石 英 压 力 器 曹 重 中国科学院力学研究所 最近 , 我们研制 了一种压 电式 的石英压力 欧姆左右 , 所 以从原 则上讲压 电式 的压力 传感器 由于在结构上作 了较大改进 , 传感器 传感器一般不用来作静态 测量 的 、 、 灵 定 感 结 的 线性好 自振频率高 敏度稳 本传 器 传感器机械 构 刚度和 自振频率 可 以用来进 行气体和液体介质中 个大气压 过 去 , 我们 的传感器是采用 图 所示 的结 、 以下 的各种动态和准静态压力测量 , 也可 以用 构 先用环氧树脂将 晶体 片 电极片粘结在螺 来测力 可 以广泛应用于气动力学实验 、 爆炸 力学实验 、 各种压气机和 内燃机等 的实验研 究 之 中 原理 石英压力传感器是利用石英 晶体 固有 的压 电效应 , 将 力的信号转变成 电的信号 的 装 置 描述压 电效应 的公式如下 万 万 · 尸翻 式 中, 是施加在石英 晶体上 的压力 , 是 由于 力 的作用 , 在 晶体上所产生 的束缚 电荷 见 图 , 是 比例 系数 , 即压 电系数或 叫压 电灵敏 图 度 引电极 垫套 螺纹底座 调 节 石英 晶体 的压 电效应是线性 的 , 一直到压 垫 圈 外壳 导线 石英 晶体片 电极片 垫片 膜片 碎为止 公斤 厘米 以上 它 的压 电系数是 个常数 而且温度系数很小 每摄 氏 一 度 约 , , 一 外 再加上石英 的刚度大 因此可用来 制作性能 良好 的压力传感器 跟石英压力传感器配套 的二次仪表 必须是 高输人阻抗 的 电路 , 不然加压后石英上产生 的 束缚 电荷所感生 的 自由电荷将很 快 漏 失 现 在 , 一般都 用 电荷放 大器 来 作 阻 抗 变 换 后 , 再将信号送示波 器或 数 字 电 压 表 显 示 、 记录 由于线路 图 玉 的阻抗和传感器本身