硅氮化反应的平衡及动力学研究.PDFVIP

硅 化 的平 及 力学 氮 反应 衡 动 研究 隋 智 通 冶金物理化学 教研室 要 ‘ , 根据 一 一 三 元系 力学的计 算 讨论在混合气体 一 一 中生成氮化硅 的条件及 氧 。 用 、 织 , 对氮化过程的影 响 光学显微镜 扫描 电子探针和 射线衍射分析方法检验氮化硅试样的显微组 ‘, ‘, 。 确定为 。一 日一 残余硅和孔隙 采 用 重分析方法研究 一 ! 范 围的混合气体 一 一 万 万 之 一。 一 ’ 瓜, 刀 汉 一 ’ “ , ” 义 一 ’ 。 屏 尹刀 中硅氮 化反应的动力学 , 认为 氮化过程的限速步骤 是 气通过在硅表面上的氮化物壳层的扩散 并提 出一种解释扩散机理 氮 。 遭 璐。 。 的模型 计算得扩 散活化能为 , , 一 稳 震 耐 损及 电阻率 的无 具有化学 定性高 抗 磨 高温 大等优 良特性 机材料一 氮化硅 ‘ 〔‘一 “ 。 , 在 推广 用 同时 讨硅 应的平衡及动 的研 也 正 被 应 探 氮化反 力学规律 究报告 陆续 〔‘一 “〕, 是 些研 的 果 , 的 的是 发表 但 这 究所得 结 并不一致 测得 氮化反应速度 曲线有 抛 “ , “ , 。 物线 〔〕 的是直线 〔 “ 至对 型 一些 究者 现 即 在 中含 型 有 型 甚 数 近来 研 发 使 氮化气氛 有 。 ’“一 ’“ 微量 爪 也 明 响 的动 规 ‘ 试图 上分 氧气 左右 能 显