退火温度对荦犻犜犻／犁犻膜结晶特性及力学性能的影响-材料与测试网.PDFVIP

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2018-08-18 发布于天津
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退火温度对荦犻犜犻／犁犻膜结晶特性及力学性能的影响-材料与测试网

第卷第期机械工程材料３４９Ｖｏｌ．３４Ｎｏ．９　　　　　　年月２０１０９Ｓｅ．２０１０　ＭａｔｅｒｉａｌｓｆｏｒＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎｐ　　　ｇｇ退火温度对／膜结晶特性及力学性能的影响犖犻犜犻犛犻王玉雷，李子全，刘劲松（南京航空航天大学材料科学与技术学院，南京２１００１６）摘要：采用射频磁控溅射法在膜表面沉积一层非晶硅膜而形成／膜，并对该膜进ＮｉＴｉＮｉＴｉＳｉ　行了不同温度的退火处理；用、和纳米压痕仪研究了退火温度对／膜的结晶特性ＸＲＤＳＥＭＮｉＴｉＳｉ和力学性能的影响。结果表明：／膜在下退火后其中的硅仍为非晶态；当退火温度在ＮｉＴｉＳｉ６００℃ ６５０℃后开始出现明显的结晶硅衍射峰，且随着温度升高，硅的结晶度增大，晶粒逐渐长大；而该膜的硬度和抗压痕蠕变能力逐渐降低；该膜弹性模量在６５０℃退火后最大。关键词：退火；／膜；结晶特性；力学性能ＮｉＴｉＳｉ中图分类号：文献标志码：文章编号：（）ＴＮ３０４．８Ａ１０００３７３８２０１００９００２００３　　　　　　犈犳犳犲犮狋狅犳犃狀狀犲犪犾犻狀犜犲犿犲狉犪狋狌狉犲狅狀犆狉狊狋犪犾犾犻狕犪狋犻狅狀犆犺犪狉犪犮狋犲狉犻狊狋犻犮狊犪狀犱犵狆狔／犕犲犮犺犪狀犻犮犪犾犘狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳犖犻犜犻犛犻犉犻犾犿狊狆　　，，犠犃犖犌犢狌犾犲犻犔犐犣犻狌犪狀犔犐犝犑犻狀狊狅狀狇犵（，，，）ＣｏｌｌｅｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏＮａｎｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓａｎｄＡｓ