采用固相晶化和准分子激光晶化制备结晶硅薄膜的对比-材料与测试网.PDFVIP

年 月 第 卷 第 期 ２０１４ １１ ３８ １１ 犞狅犾．３８犖狅．１１犖狅狏．２０１４ 　 采用固相晶化和准分子激光晶化 制备结晶硅薄膜的对比 王志雄，王欣，李霞霞，黄飞武，张 霞 （上海工程技术大学材料工程学院，上海２０１６２０） 摘 要：为制备高质量的结晶硅薄膜，以工业玻璃为衬底，利用等离子体增强化学气相沉积工艺 　 制备了非晶硅（ ）薄膜，然后分别通过固相晶化和准分子激光晶化两种工艺制备结晶硅（ ） Ｓｉ ｎｃＳｉ α 薄膜，采用激光显微拉曼光谱仪、 射线衍射仪和扫描电子显微镜等对两类结晶硅薄膜的结晶率、 Ｘ 结晶质量和表面形貌等进行了对比分析。结果表明：采用固相晶化得到的结晶硅薄膜的结晶率约 为７０％，采用准分子激光晶化得到的结晶率则可达９０％；当激光拉曼测试条件变化时，两种结晶硅 薄膜的结晶率几乎不变，均处于稳定的晶态结构；采用准分子激光晶化制备的结晶硅薄膜显示出微 弱的 （ ）结晶峰位，并具有较大的晶粒尺寸和规则的晶界分布。 Ｓｉ１１１ 关键词：非晶硅薄膜；结晶硅薄膜；固相晶化；准分子激光晶化；结晶率 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＮ３８６．１Ｏ４８４．４ Ａ １０００３７３８２０１４１１００４６０４ 　　　 　　　 犃犆狅狀狋狉犪狊狋狅犳犆狉狊狋犪犾犾犻狀犲犛犻犾犻犮狅狀犜犺犻狀犉犻犾犿狊犘狉犲犪狉犲犱犫 狔 狆 狔 犛狅犾犻犱犘犺犪狊犲犆狉狊狋犪犾犾犻狕犪狋犻狅狀犪狀犱犈狓犮犻犿犲狉犔犪狊犲狉犃狀狀犲犪犾犻狀 狔 犵 ， ， ， ， 犠犃犖犌犣犺犻狓犻狅狀 犠犃犖犌犡犻狀 犔犐犡犻犪狓犻犪犎犝犃犖犌犉犲犻狑狌 犣犎犃犖犌犡犻犪 犵 （ ， ， ， ） ＤｅａｒｔｍｅｎｔｏｆＭａｔｅｒｉａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＳｈａｎｈａｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＳｃｉｅｎｃｅＳｈａｎｈａｉ２０１６２０ Ｃｈｉｎａ ｐ ｇ ｇ ｇ ｙ ｇ ｇ ｇ ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｆｏｒ ｒｅａｒａｔｉｎ ｏｆｈｉｈｕａｌｉｔ ｃｒｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｔｈｉｎｆｉｌｍ ｌａｓｍａｅｎｈａｎｃｅｄｃｈｅｍｉｃａｌｖａｏｒ ｐ ｐ ｇ ｇ ｑ ｙ ｙ ｐ ｐ （ ） （ ） ，