镜面铣技术附其应用.docVIP

镜面铣技术及其应用 1. 镜面铣在超精密机床中属于最简单的一类。其关键部件为高精度主轴和低摩擦高平稳定性的滑台。在现有的镜面铣床中，主轴多采用气体静压支承，只有个别的主轴采用液体静压支承技术。滑台的支承多数为气体静压系统，但最近几年液体静压系统呈上长趋势，其主要原因是液体静压系统具有高阻尼、高刚度优点。? 滑台的驱动系统是达到高精度表面的关键，最初采用气液缸驱动，后发展为平稳的钢带驱动，最近又出现了高精度、高平稳性的滚珠丝杠驱动和直线电机驱动系统。滚珠丝杠驱动具有高刚性的特点，其平稳必除电机外取决于丝杠螺母副的精度。与钢带驱动系统相比，滚珠丝杠驱动对电机的要求较低，因为电机转一周，滑台只前进一个螺距，而在钢带驱合系统中，滑台要前进带轮的一个周长。受钢带的材质和厚度的影响，带轮的直径通常在40mm以上，为了尽可能减少电机平稳性的影响，多数钢带驱动系统采用蜗轮蜗杆减速器，其性能的优劣决定了滑台运动的平稳性。? 2．镜面铣床的布局 如图1所示，镜面铣床多采用立式布局。主轴装在垂直滑台上，工件装夹在水平滑台上，垂直滑台只在加工开始前作进给移动，铣削过程中停留在某一位置不动，水平滑台在切削时则作连续运动。这种布局的主要优点在于工件可以直接放在水平滑台上进行调整和装夹，而且装夹力不需很大，只要能克服切削力即可。立式布局尤其适合于加工较大的工件，它的缺点是排屑问题。由于工件处于水平位置，