Lu2Ti2O7薄膜的溶胶凝胶合成及电学特性.pdfVIP

第 21卷 第 12期 光学 精密工程 Vol_21 NO．12 2O13年 12月 OpticsandPrecisionEngineering Dec．2Ol3 文章编号 1004—924X(2013)123050—08 Lu2Ti2o7薄膜的溶胶凝胶合成及电学特性 李宝让，杨 洋 ，杨智伟，程伟良 (华北电力大学 能源动力与机械工程学院，北京102206) 摘要 ：研究 了LuTiz()薄膜 的结构、制备和性能。以si作为基体 ，采用溶胶凝胶法研究了各种 因素 ：煅烧温度 、保温时 间、转速和涂层的数量等对薄膜质量包括表面均方根粗糙度等 的影响，并在此基础上研究了薄膜 的电学性能。研究表 明：在 650～1050℃能够形成 LuzTiO 相 ，在 750℃时能够获得 IuzTi()含量较少 的理想薄膜 。研究同时表明：温度 对表面均方根粗糙度影响相对较大。LuTi。O 薄膜 电学性能研究表 明：保温时间有利于 LuTi。O 的低温相变和 1．uzTiOs相 的形成 ，但是对薄膜电学性能的影响相对较小 。采用硝酸镥和二氧化钛作为前驱体 ，通过溶胶凝胶法可 以制 备致密的 I Ti()t薄膜 ，该薄膜制备过程中有 中间相 Iu。TiO 产生 ，但该相可通过改变前驱体 比例、延长保温时间或 者提高煅烧温度来消除。 关 键 词 ：Lu2TiO 薄膜；溶胶凝胶法 ；电子显微镜 ；电学性能；表面粗糙度 中图分类号 ：0484．42 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE．20132l12．3050 Synthesisconditionsandelectricpropertiesof Lu2TizO7thin filmspreparedbysol—geltechnique LIBao—rang，YANG Yang ，YANG Zhi—wei，CHENG W ei—liang (CollegeofEnergyPowerandMechanicalEngineering，NorthChinaEctric PowerUniz，ersity，Beijing102206，China) *C0rresp0 ngauthor，E-mail q．corn Abstract：Fhestructures，fabricationandpropertiesofLu2Ti2O7thinfilmswereexplored．Depending uponsol—gelfabrication technique．theinfluenceofthespinningparameters。such asannealingtern— perature，holdingtime，rotatingspeedandthenumberofcoatinglayersonthemicro—structureinclu— dingsurfaceroughnesswasinvestigatedsystematically．ThentheelectricalpropertiesoftheL “2Ti2()7 filmsdeposited on Sisuhstrates were researched to optimize the parameters for the growth of Lu2Ti2()7films．Theinvestigationrevealsthattheannealingtemperaturenolessthan750C isneces— sarytoobtainanoptimalthinfilm containinglessamountofLu2TiO ，whichisformedattemperature arrangingfrom 650 C to1050 C．Meanwhile，thestudiesalsoindicatethatthecalcinationtempera— tureshowsagreatinfluenceonthesurfacerough