自动检测技术第3版课件作者马西秦第10章节位移-数字传感器.pptVIP

每当光栅移动一个栅距（W），莫尔条纹明暗变化一次，光电元件感受到的光强按正弦规律变化一个周期（ ），它输出的电信号也就发生相应地变化。在去除光电元件输出信号中的直流分量后，我们可以得到光电元件输出电压和光栅位移之间的关系式： 为了增加光栅传感器的分辨率和测得比栅距更小的位移量，以提高测量精度，若以移过的莫尔条纹数来确定位移量，则其分辨率为光栅栅距。一般可以通过增加光栅刻线密度（机械的方法）和对测量信号进行细分（电气的方法）的这两种方法来提高测量精度。 第一种方法制造工艺比较麻烦，成本较高而且会给安装和调试带来困难，因此一般不采用这种方法，而采用对测量信号细分方法获得所需的分辨率。下面介绍几种常用的电气细分法。 采用多个类似电桥，选取不同R1/R2值，就可以得到一系列初始相位 各不相同的正弦信号，从而达到任意细分的目的。 容栅传感器是利用电容的电荷耦合方式将机械位移量转变成为电信号的一种传感器。 长容栅由定栅尺和动栅尺组成，国内一般用敷铜板制造。 圆容栅主要由以透射板作主栅、以分别置于主栅两面的、保持最佳恒定距离的发射极板和接收极板作分体式副栅构成。 对于长容栅，当动栅尺沿方向平行于定栅尺移动时，每对容栅的覆盖面积将发生周期性变化，电容量也随之发生周期性变化，如图10