电气测试技术第3版课件作者林德杰4.4电容式传感器.pptVIP

尚辅网 / 4.4 电容式传感器 4.4.1 电容式传感器的工作原理极其特性4.4.2 测量电路 4.4.3 电容传感器的特点及其应用范围 4.4.1 电容式传感器的工作原理极其特性 图4-60 平板电容器原理 图4-60为平板电容器原理图，若忽略其边缘效应，其电容量C为： + + + d A ? d、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 改变极板面积的变面积式； 改变极板距离的变间隙式； 改变介电常数的变介电常数式。 变气隙式电容传感器及其特性 图4-60中，设在被测量作用下，动极板向上移动Δd，其电容量增加，电容变化量为： 式中，C0 为初始电容量， 。 在 时，将上式展开成麦克劳林级数： 若动极板向下位移Δd ，同理可得： 由式（4-71）和式（4-72）可见，变气隙式电容传感器的特性是非线性的。若 ，忽略高次方非线性，方可认为其特性是线性的，即： 因此，可得其灵敏度为： 变气隙式传感器的特点是灵敏度高，但非线性严重，通常取 之间。 变面积式电容传感器及其特性 角位移变面积型 见图4-61a，当转动动