一种高产率的先进封装投影光刻机.pdfVIP

团 蠢要 ：兰曼签造鱼： 一 种高产率的先进封装投影光刻机 周 畅 ，贺荣明 (上海徽 电子装备有限公司，上海201203) 摘 要 ：从设备设 计者及使 用者的角度 ，详 细描 述 了影响先进封装步进投影光刻机生产效率的 主要 因素，并基 于灵敏度分析给 出了产率优化方法，综合曝光性 能分析给 出了产率平衡策略 实 测数据表 明 ，SSB500系列光刻机达到 了良好的产率性能 ，最高产率超过 90片 ／h，适应厚胶 大剂 量曝光要求 ，能够满足后道 FAB的生产线要求 关键词：光刻机 ；产率；步进 时间；曝光能量 中图分类号 ：TN305 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4507(2010110．0001—04 A TypeofAdvancedPackageStepperwithHigh