微波等离子体的朗缪尔探针测量.pdfVIP

第28卷 第4期 佳 木 斯 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) Vo1．28 No．4 2010 年 O7月 JoumMofJiamusiUniversi哆 (NaturalScienceEdition) July 2010 文章编号：1008—1402(2010)04—0521—03 微波等离子体的朗缪尔探针测量① 张宝芳 (江苏科技大学张家港校区信息学院，张家港 215600) 摘 要： 随着微波等离子体的应用越来越广泛，其参数的测量研究也逐渐得到人们的重视．本 文使用朗缪尔探针测量了微波等离子体的单探针 一 特性，并根据探针测量原理计算出等离子 体空问电位、电子温度，电子密度和离子密度等参数． 关键词： 微波等离子体 ；朗缪尔探针 ；测量 中图分类号： TN136 文献标识码 ： A 的中心，而不与孔边相接触。即使屏蔽体表面被沉 0 引 言