微米级光学光斑测量系统设计.pdfVIP

2010年 第29卷 第9期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 113 微米级光学光斑测量系统设计 时焕玲，裘祖荣，洪 昕 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 ，天津 300072) 摘 要：微米级测量光斑是激光非接触共焦法测量核聚变微靶的一项重要指标。要使测量精度达到 1m，测量光斑直径也应在微米级。根据激光高斯分布理论，设计加工了在 GJ一Ⅳ共焦测头上实现微米级 焦点光斑的光学系统进行了测量误差分析。通过实验和测试，激光测量光斑为 10 m，工作距离为20mm， 测量精度为0．04％。实验数据证明：设计的光学系统从测量范围、测量光斑尺寸、测量精度等方面均满足 微靶球测量的要求。 关键词：微米级测量光斑 ；光路设计 ；微靶 中图分类号：TP212．9 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2010)09-0113--03 Dl1)