第四章3 纳米科技.ppt

纳 米 科 技 第三节 扫描隧道显微术 纳 米 科 技 1982年宾尼和罗雷尔发明成功扫描隧道显微镜（Scaning tunneling microscopy，STM）。STM不但空间分辨率高（横向0.1nm，纵向0.01nm），成为揭示原子、分子尺度的观察手段，而且是在纳米尺度上对表面进行改性和排布原子的工具。 一、扫描隧道显微镜（STM） 录像：纳米科技与STM 扫描隧道显微镜的工作原理基于量子隧道效应。由于电子具有波粒二象性，遵从量子力学运动规律，在其总能量低于势垒壁高时，也有一定的概率穿透势垒，在探针和试样表面间形成隧道电流。 1、STM的工作原理和基本结构 一、扫描隧道显微镜（STM） 隧道电流的大小对于探针和试样表面的距离非常敏感，通过电子反馈电路使隧道电流保持恒定，并采用压电陶瓷材料控制探针沿试样表面扫描，这样探针在垂直于试样表面方向上的高低的变化就反应出试样表面的形貌分布和原子排列的图像。 1、STM的工作原理和基本结构 一、扫描隧道显微镜（STM） STM的基本结构包括：①探针与试样表面的逼近装置；②保持隧道电流恒定的电子反馈电路；③显示探针在z方向位置变化的显示器；④操纵探针沿试样表面x方向和y方向运动的压电陶瓷扫描控制器及位置显示器；⑤数据采集系统和图像处理系统。 1、STM的工作原理和基本结构 一、扫描隧道显微镜（STM） 2、STM的主要应用和优、缺点 一、扫描隧道显微镜（STM） STM有原子量级的极高分辨率，其垂直和平行于表面方向的分辨率分别为0.01nm和0.1nm，能够分辨出单个原子； STM能够实时地给出表面的三维图像，可以测量具有周期性或不具备周期性的表面结构； STM可在不同环境条件下工作，包括真空、大气、低温，甚至将试样浸在水中或电解液中，所以非常适用于研究环境因素对试样表面的影响； 二、原子力显微镜（AFM） 1、工作原理和基本结构 针尖装在一个对微弱力非常敏感的“微悬臂”上，使探针的针尖与试样表面仅有轻微的接触，通过与试样相连的X、Y压电陶瓷，控制试样（或探针）在X、Y方向扫描运动，使探针在试样表面上的相对位置改变。 二、原子力显微镜（AFM） 1、工作原理和基本结构 由于试样表面的高低变化，使微悬臂自由端上的针尖也将随之有上下的运动，通过激光束可检测出微悬臂自由端在试样表面垂直方向的变形和位移情况，从而得到试样表面的形貌图像。 二、原子力显微镜（AFM） 1、工作原理和基本结构 同时，根据微悬臂的弹簧刚度实现对探针尖端原子与试样表面原子之间作用力的测量。 二、原子力显微镜（AFM） 1、工作原理和基本结构 AFM的结构包括：①装有探针的力敏元件；②力敏元件的位移或变形的检测装置；③电子反馈电路；④压电陶瓷扫描控制器；⑤图像处理和显示系统。由微悬臂和探针组成的力敏元件是仪器的核心。 二、原子力显微镜（AFM） 2、分类 根据测量微悬臂受力时弯曲位移方法的不同，通常采用隧道电流法、电容法和光学法三种： 1）隧道电流法：隧道电流法基本上与STM类似，灵敏度可达到纳米级，但当微悬臂上产生隧道电流的部位被污染后将降低测量精度。 二、原子力显微镜（AFM） 2、分类 根据测量微悬臂受力时弯曲位移方法的不同，通常采用隧道电流法、电容法和光学法三种： 2）电容检测方法：将微悬臂与电容极板相连，微悬臂产生的位移变化使电容器极间距离变化，从而改变电容值，测出电容值的改变即可测出微悬臂纳米级的位移量。 二、原子力显微镜（AFM） 2、分类 根据测量微悬臂受力时弯曲位移方法的不同，通常采用隧道电流法、电容法和光学法三种： 3）光学检测法：利用光干涉法和激光束反射法，使光束射到微悬臂的背面，当针尖与试样表面产生了位移和变形时，反射光必然要偏转，就可以测出微悬臂的位移和形变。 二、原子力显微镜（AFM） 2、分类 3）光学检测法：利用光干涉法和激光束反射法，使光束射到微悬臂的背面，当针尖与试样表面产生了位移和变形时，反射光必然要偏转，就可以测出微悬臂的位移和形变。 二、原子力显微镜（AFM） 3、主要应用 AFM的应用范围可以是导体、半导体也可以是细胞生物等样品； AFM还能够探测样品表面的纳米机械性质和其它的表面力，如样品的定域粘附力或弹力等； 二、原子力显微镜（AFM） 3、主要应用 微观粘附性对许多物质有影响，如油漆、胶水、陶瓷和复合材料等等，及DNA的复制和药物在人体中的作用。弹力性质也很重要，无论是一般材料、复合材料，甚至人体血球、细胞体系等，测量AFM探针尖在接近和离开表面过程中作用力大小，恰好为在纳米尺度上研究这些重要参数提供了新的工具； 二、原子力显微镜（AF