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基于碳纳米管的呼吸传感器及便携式系统设计.PDF
4 2 3 郑 州大学 学 报( 理学 版) Vo l 42 No 3
2010 9 J. Z hengzhou U niv. ( N at. Sci. Ed. ) Sep 2010
陈晓航, 王雨化, 徐 东, 张亚非
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1 呼吸传感器微加工工艺流程图
Fig. 1 F lo w schem at ic of breath sensor m icro f abricatio n pr ocess
2009- 11- 19
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3 陈晓航, 等 基于碳纳米管的呼吸传感器及 携式系统设计 8 1
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