电容式传感器-2.pptVIP

2002/12总结 第4章 电容式传感器 4.1传感器的工作原理及类型 4.2电容传感器的灵敏度及非线性 4.3电容传感器的特性等效电路 4.4电容传感器的设计要点 4.5电容式传感器的转换电路 4.6电容式传感器的应用举例 4.3 电容式传感器的特点及等效电路 4.3.1 电容传感器的特点 优点 缺点 优点： ①温度稳定性好 ②结构简单、适应性强 ③动态响应好 ④可以实现非接触测量，具有平均效应点 1.温度稳定性好 电容传感器的电容值一般与电极材料无关，仅取决于电极的几何尺寸，且空气等介质损耗很小，因此只要从强度、温度系数等机械特性考虑，合理选择材料和结构尺寸即可，其他因素影响甚微。 电阻式传感器有电阻，供电后产生热量； 电感式传感器存在铜损、涡流损耗等，引 起发热产生零漂。 2.结构简单、适应性强 易制造、保证高的精度； 能在高低温、强磁场及辐射等条件工作； 在高压力、高冲击、过载情况下都能工作； 体积可做得很小，满足特殊要求测量。 3.动态响应好 动态响应时间很短，其介质损耗小可以用较高的频率供电，故系统工作频率高。 测量振动、瞬时压力。 4.可以实现非接触测量，具有平均效应 采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面不平等测量的影响。 其他优点： 其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨率高； 其空气等介质损耗小，采用差分结构并接成桥式时产生的零残极小，允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。 缺点： ①输出阻抗高，负载能力差 ②寄生电容影响大 ③输出特性非线性 1.输出阻抗高，负载能力差 由于电极的尺寸限制不宜做大，所以电容值达到几到几百微法，所以输出阻抗高，负载能力小，易受外界干扰而不稳定。必须做好屏蔽措施。容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高，否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响仪器性能。 采用高频供电，可降低传感器输出阻抗，但高频放大、传输远比低频复杂，且寄生电容影响大，不宜保证工作的稳定性。 2.寄生电流影响大 寄生电容：连接传感器和电子线路的引线电容、电子线路的杂散电容以及传感器内极板与其周围导体构成的电容。 降低了传感器的灵敏度，而且由于其随机变化影响测量精度。 采用屏蔽性好、自身分布电容小的高频电线作为引线，且引线粗而短，要保证仪器的杂散电容小而稳定等等。 3.输出特性非线性 变极距型电容传感器的输出特性是非线性，虽可采用差分型改善，但不可能完全消除。只有忽略电场的边缘效应时，输出特性才呈线性。否则边缘效应所产生的附加电容量将于传感器电容量直接叠加，使输出特性非线性。 4.3 电容式传感器的特点及等效电路 4.3.2 电容式传感器的等效电路 如图4-4（a）平板电容器，研究从输出端A、B两点来看等效电路。 如图4-4（b）所示，其中L为传感器的电感；R为传输线的有功电阻，在集肤效应（当交变电流通过导体时，电流将集中在导体表面流通）较小的情况下， 即当传感器的激励电压频率较低时，其值甚小；C为传感器的电容；Cp为归结A、B两端的并联寄生电容；Rp为极板间等效漏电电阻，选取保证足够大。 从上述等效电路可知，在较低频率下使用时（激励电路频率）较低），L及R可以忽略不计，而只考虑Rp对传感器的分路作用。当使用频率增高时，就应考虑L及R的影响，而且主要是L的存在使得AB两端的等效电容Ce随频率增加而增加，由下式可求的Ce： ΔCe—电容传感器等效电容由于输入被测量Δd的改变而产生的增量 4.4 电容传感器的设计要点 电容式传感器所具有的高灵敏度、高精度等独特的特点是与其正确设计、正确选材以及精细加工工艺分不开。 在设计传感器的过程中，在所要求的量程、温度和压力范围内，应尽量使它具有低成本、高精度、高分辨率、稳定可靠和好的频率响应等，但一般不易达到理想程度，因此经常采用折中方案。 4.4.1保证绝缘材料的绝缘性能 减小环境温度、湿度等变化所产生的误差，以保证绝缘材料的绝缘性能。温度变化使传感器内个零件的几何尺寸的相互位置及某些介质的介电常数发生改变，从而改变电容