复合光路光学镀膜宽光谱膜厚监控系统.pdfVIP

敷 与 电子学进展 47，053101(2010) LaserOptoelectronicsProgress ~2010中国激光杂志社 doi：10．3788／lop47．053101 复合光路光学镀膜宽光谱膜厚监控系统 任 豪 王巧彬 罗宇强 李康业 (广州市光机电技术研究院研发检测中心， 广东 广州 510663) 摘要 介绍一种复合光路宽光谱膜厚监控系统及其软硬件开发，对系统结构组成和工作原理进行说明。通过增加中 问通光孔式的分光镜的复合光路，基于LabVIEW 平台开发宽光谱膜厚监控软件，实现了基于宽光谱扫描法的宽光 谱膜厚监控和基于极值法的光学膜厚监控的兼容并用，提高了光学镀膜膜厚监控的精确性和 自动化，为传统光学镀 膜设备的升级改造提出了一种可行性技术。 关键词 膜厚监控；光学镀膜；复合光路；宽光谱 中图分类号 0484．5 OCIS 310．6805120．4800 文献标识码 A W ide--BandSpectrum OpticalFilm Th